[发明专利]金属蒸发设备

权利要求书

1.一种金属蒸发设备，该设备的腔体内包括坩埚盖板和坩埚，其特征是：该设备还包括：

转轴，贯穿该设备的腔体内外，且与所述坩埚连接在一起；

盖板冷却管道，部分埋设在所述坩埚盖板的内部；

坩埚冷却管道，全部埋设在所述转轴和坩埚的内部，在转轴表面的入水口和出水口均在该设备的腔体外；

转轴套，所述转轴套与该设备的腔体壁连接在一起，且包围所述转轴在该设备腔体外的部分；

所述坩埚冷却管道在转轴表面的入水口和出水口均为环状沟槽。

2.根据权利要求1所述的金属蒸发设备，其特征是：所述转轴套内包括：

一个环状密封环，对所述转轴套和腔体壁之间的间隙进行密封；

上下排列的三圈环状磁流体密封区域，其中任何一圈磁流体密封区域均对所述转轴和转轴套之间的间隙进行密封。

3.根据权利要求2所述的金属蒸发设备，其特征是：其中一个环状沟槽位于上圈和中圈的磁流体密封区域之间，另一个环状沟槽位于中圈和下圈的磁流体密封区域之间。

4.根据权利要求4所述的金属蒸发设备，其特征是：所述坩埚冷却管道在跨越所述转轴和坩埚的部位套有环状密封环，对所述坩埚冷却管道和坩埚之间的间隙进行密封。

5.根据权利要求1所述的金属蒸发设备，其特征是：所述盖板冷却管道和坩埚冷却管道各自独立。

6.根据权利要求2所述的金属蒸发设备，其特征是：所述环状密封环为橡胶材料。

7.根据权利要求2所述的金属蒸发设备，其特征是：所述转轴套为磁性材料，或者所述转轴套对应所述磁流体密封区域的部位包括磁性材料的圆环。