[发明专利]对正装置及曝光装置

说明书

技术领域

本发明有关于一种对正大型基板的对正装置以及将既定的图案曝光至基板的图案区域的曝光装置，特别是对基板的非电路图案部照射激光光束，而将记号、文字等识别标记进行印记(曝光)的同时，照射紫外线而进行非电路图案区域的周边曝光的曝光装置。

背景技术

例如在液晶用基板的曝光装置中，数年前为大约500mm×500mm的尺寸，现在已经制造出扩大至2160mm×2460mm的所谓的大型尺寸。从该大型基板切断、分离成预设的各个基板片，而制作出搭载于受像机器、放映机器的基板。基板从大型的状态切断、分离时，其管理与制造工程的管理是必要的。因此在基板的非电路图案区域由激光光束等，在各基板片上印记文字、记号、图形或者是由其组合而形成的识别记号来形成工程管理的指示标记。而且将判断分离位置用的切断位置识别码、或者各种对正标记等曝光于基板上而形成切断基板或位置配合的指示标记。以下，识别标记、切断位置识别码及对正标记等总称为识别标记。

又，在基板的图案区域的周边，未形成电路图案的非电路图案区域设定成既定的宽度。存在于非电路图案区域的不必要的光致抗蚀剂，由于会成为后续制程的障碍，必须要预先使其曝光。另一方面，在非电路图案区域中，如上所述，必须显示出识别标记。例如，如专利文献1所述，在非电路图案区域中，形成识别标记的位置，不仅可设于非电路图案区域的中央部，也可设于接近电路图案区域，或设于基板的端部侧附近。

在该基板的制程中，曝光电路图案区域的曝光装置、对非电路图案区域的光致抗蚀剂进行曝光的周边曝光装置、印记识别标记的曝光装置等，各种曝光装置存在于生产线上。例如，专利文献2所揭露，在非电路图案区域中照射激光而印记识别标记的曝光装置，对于基板的非电路图案区域上应印记识别标记的场所，从配置于装载基板的台座的上方的曝光单元照射激光光束。然后，将载置基板的台座与曝光单元相对移动，使激光光束在台座移动方向与正交于该移动方向的方向上依次地扫瞄，同时移动至相对该照射位置的移动方向，在成为直角坐标的平面上使基板的照射点排成一列而印记识别标记。

又，在对周边部的不必要的光致抗蚀剂进行曝光的制程时，如专利文献3所述，藉由使基板的边缘与曝光光照射部同步而移动的光传感器检测出边缘的方法，如专利文献4所述，藉由检测出销抵接于基板时的位置的位置传感器的信息，而检测出基板的边缘的方法等，确保基板的边缘的信息。

[专利文献1]日本特许第2910867号公报

[专利文献2]日本特许第3547418号公报

[专利文献3]日本特开2000-306794号公报

[专利文献4]日本特许第3413947号公报

但是，习知的印记识别标记的曝光装置或曝光识别标记与非电路图案区域的周边曝光装置中，存在以下的问题点。

该等曝光装置中，搬运基板的机构部由长轴的轴(X轴)的台座、与该轴正交的轴(Y轴)的台座以及使基板旋转的轴(θ轴)的台座所构成。因此，三个台座重叠而使搬运系统整体构成高度高的机构部，机构元件增加而使价格变高。又，三个台座重合而使重心变高，基板安装面的偏位变大，可能对曝光性能有不良的影响。

又在专利文献3所揭露的发明中，仅将方形基板的一边的边缘以光学性的方法检测出，之后沿着该边缘对非电路图案部分曝光，因此如果基板没有正确地定位于台座上，就无法正确地进行边缘的曝光。

而且，在专利文献4所揭露的发明中，揭露了将方形基板的正交的两边定位的机构。该发明由于必须具备弹簧及接点等多种机械性的元件用于定位，所以会使基板的边缘部产生变形及破损，而且机构变得复杂，其检查及维护的时间也会变长。

发明内容

有鉴于此，本发明为一种避免藉由位置配合(对正)而产生的基板的变形与破损的曝光装置。又，本发明的曝光装置可简单地构成定位检测机构部，而且容易设置进行激光光束的照射及以紫外光照射非电路图案区域的单元。藉此，可确保稳定的生产。

[解决问题的手段]