[发明专利]石英振子,石英振子组件以及石英振荡器

权利要求书

1.一种石英振子的制造方法，该石英振子在从基底部伸出两根振 动臂部而形成音叉型的石英片的正面和背面两面上，形成有包含激励 电极以及引出电极的电极配线图案，该石英振子的制造方法的特征在 于，

利用多晶硅或者非晶硅的硅材料，在比构成该石英振子的石英的 居里点低的温度下在所述振动臂部成膜，由此形成所述电极配线图案 中的至少激励电极。

2.如权利要求1所述的石英振子的制造方法，其特征在于，

所述硅材料掺杂了p型或者n型掺杂物。

3.如权利要求1所述的石英振子的制造方法，其特征在于，

在所述振动臂部的前端部上形成有比重比所述硅材料大的调整频 率用的金属膜。

4.一种石英振子组件，其特征在于，

具有：

容器；

石英振子，被设置于该容器之中；以及

电极，被设置在所述容器的外面且电连接于所述石英振子的电极 配线图案，其中，

所述石英振子由权利要求1～3中任一项所述的制造方法制造而成。

5.石英振荡器，其特征在于，

具有石英振子，所述石英振子由权利要求1～3中任一项所述的制 造方法制造而成。