[发明专利]托盘内载基片的撷取装置

权利要求书

1. 一种托盘内载基片的撷取装置，其特征在于，包含：

一基架，设于载放有基片的托盘旁侧，且基架内至少设有一第一驱动器；

一可由所述第一驱动器带动而水平伸展至托盘底部的伸展架，滑设于基架上，且伸展架上设置至少一第二驱动器；

多个摆臂，受第二驱动器驱动而上摆；及

多个滚轮，枢设于对等数量的摆臂的一端，摆臂另一端枢设于伸展架上。

2. 一种托盘内载基片的撷取装置，其特征在于，包含：

一基架，设于载放有基片的托盘旁侧，且基架内至少设有一第一驱动器；

一伸展架，由相互滑设的至少一滑设于基架上的第一框架及一可受第一驱动器带动而水平伸展位移的第二框架组成，且第一框架、第二框架以及基架间设有一连动器，于第一框架伸展位移时带动第二框架同步伸展位移至托盘底部，且第二框架上设置至少一第二驱动器；

多个摆臂，受第二驱动器驱动而上摆；及

多个滚轮，枢设于对等数量的摆臂一端，摆臂另一端枢设于第二框架上。第二驱动器能驱动摆臂上摆，以带动各滚轮向上抬举托盘内的基片上扬，并供基片于多个滚轮上移动离开托盘。

3. 如权利要求1或2所述的撷取装置，其特征在于，其中所述各摆臂设一第一摆臂和一与第一摆臂枢接的第二摆臂，且伸展架上设置至少一用以固设第二驱动器及枢设多个滚轮的架杆，该架杆内滑设与所述第一摆臂或第二摆臂数量相等的用以连结和带动第二摆臂的滑块，且架杆上设一接受第二驱动器驱动的拉杆。

4. 如权利要求1或2或3所述的撷取装置，其特征在于，其中滚轮轴心上配置有一马达，该马达在抬举基片上扬时驱动滚轮转动，以带动基片移动离开托盘。

5. 如权利要求1或3所述的撷取装置，其特征在于，所述各摆臂另设一第三摆臂，滚轮旁侧配置一副轮，枢设于第三摆臂一端，第三摆臂另一端枢设于伸展架上，且第一摆臂与第三摆臂间连结有一连动臂，以连动第三摆臂与第一摆臂同步上摆，并带动滚轮与副轮一同向上抬举托盘内的基片上扬。

6. 如权利要求2或3所述的撷取装置，其特征在于，所述各摆臂另设一第三摆臂，其中滚轮旁侧配置一副轮，枢设于第三摆臂一端，第三摆臂另一端枢设于第二框架上，且第一与第三摆臂间连结有一连动臂，以连动第三摆臂与第一摆臂同步上摆，并带动滚轮与副轮一同向上抬举托盘内的基片上扬。

7. 如权利要求2所述的撷取装置，其特征在于，其中连动器包含：

一第一引导轮，枢设于第一框架上；

一第一传动带，环绕于第一引导轮上，一端固定于第二框架上，另一端固定于基架上；

一第二引导轮，枢设于第一框架上的第一引导轮前方；及

一第二传动带，环绕于第二引导轮上，一端固定于第二框架上的第一传动带固定处后方，另一端固定于基架上的第一传动带固定处后方。

8. 如权利要求1或2所述的撷取装置，其特征在于，基架上设有一传动器，具有多个滚轮，且传动器或基架上设有至少一第三驱动器，驱动滚轮转动，以带动托盘移出的基片移入传动器以及带动基片移出传动器。

9. 如权利要求1或2所述的撷取装置，其特征在于，更加包含一架体，设于载放有基片的托盘旁侧，且基架滑设于架体上，同时架体内至少设有一用以驱动基架往复位移的第四驱动器。