[发明专利]TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法，尤其涉及一种可于一次制程中同时完成两个承载匣的多个TFT LCD玻璃基板的蚀刻，达到缩短蚀刻时间及简化蚀刻过程的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法。

背景技术

一般现有技术，如中国台湾专利公报公告第543113号的「TFT LCD用玻璃基板的自动蚀刻装置及蚀刻方法」，其自动蚀刻装置，主要包括：

一蚀刻槽，其内部设置有一多孔性起泡装置，于该起泡装置上侧并设有一击板装置，该蚀刻槽内部注有一处理溶液，用以蚀刻装载于一蚀刻卡匣内的薄膜晶体管液晶显示器用玻璃基板；

一第一快速抛洗槽，其内部用以容置装载蚀刻完成的薄膜晶体管液晶显示器用玻璃基板主蚀刻卡匣，其内部并设置有一喷射超纯水的喷洒装置，一位于下部、用以喷射氮气的多孔性起泡装置，以及一上部的击板，用以洗净该玻璃基板；

一第二快速抛洗槽，使用与该第一快速抛洗槽相同的方式反复洗净该第一快速抛洗槽洗净完成的该玻璃基板，以将该玻璃基板表面彻底洗净；以及

一干燥槽，其内部用以容置装载洗净完成的该玻璃基板主蚀刻卡匣，并设有一喷嘴，用以喷射氮气，以干燥该玻璃基板。

而其自动蚀刻方法，主要包括以下步骤：

(A)提供一蚀刻槽，该蚀刻槽内部设置有一多孔性起泡装置，于该起泡装置上侧并设有一击板装置，将一装载薄膜晶体管液晶显示器用玻璃基板主蚀刻卡匣置于该蚀刻槽内，并注入一处理溶液，以蚀刻该玻璃基板；

(B)将装载蚀刻完成之薄膜晶体管液晶显示器用玻璃基板主蚀刻卡匣置入一第一快速抛洗槽内部，通过该第一快速抛洗槽内部装设的喷射超纯水的喷洒装置，位于底部、用以喷射氮气的多孔性起泡装置，以及一位于上部的击板，用以洗净该玻璃基板；

(C)将于该第一快速抛洗槽洗净完成的该玻璃基板置入一第二快速抛洗槽，并使用与该第一快速抛洗槽相同的方式反复洗净该第一快速抛洗槽洗净完成的该玻璃基板，以将该玻璃基板表面彻底洗净；以及

(D)将装载洗净完成的该玻璃基板的该蚀刻卡匣置入一干燥槽内，并使用其内部设置的喷嘴喷射氮气，以干燥该玻璃基板。

采用上述的装置及方法可使TFT LCD用玻璃基板实现自动蚀刻的效果。

虽然上述现有的「TFT LCD用玻璃基板的自动蚀刻装置及蚀刻方法」可达到TFT LCD用玻璃基板的自动蚀刻，但是由于其进行蚀刻时，一次制程中仅能针对一个蚀刻卡匣内的TFT LCD玻璃基板进行蚀刻、二次清洗及烘干等步骤，若要进行两个蚀刻卡匣内TFT LCD用玻璃基板的蚀刻，则必须要于第一个蚀刻卡匣内的TFT LCD用玻璃基板于蚀刻槽中蚀刻之后，以第一及第二快速抛洗槽进行二次清洗，且通过干燥槽予以烘干之后，再取第二个蚀刻卡匣内的TFT LCD用玻璃基板于蚀刻槽中进行蚀刻、二次清洗及烘干等步骤，而无法于一次制程中完成二个蚀刻卡匣内TFTLCD用玻璃基板的蚀刻，而造成蚀刻时间增加以及蚀刻过程繁复。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种可于一次制程中同时完成二个承载匣的多个TFT LCD玻璃基板的蚀刻的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法，该蚀刻装置包含至少两个可供承载欲蚀刻TFT LCD玻璃基板的承载匣；两个分别连接液体供应单元、一气体供应单元及药剂供应单元的蚀刻清洗槽；一分别与液体供应单元及一气体供应单元连接的清洗槽；以及一分别与一气体供应单元连接的干燥槽所构成；而其蚀刻方法至少包含下列步骤：

步骤一：提供至少第一及第二承载匣与第一及第二蚀刻清洗槽，而该第一及第二蚀刻清洗槽连接一液体供应单元、一气体供应单元及一药剂供应单元；

步骤二：先于第一承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板，将第一承载匣移入第一蚀刻清洗槽中，并使第一蚀刻清洗槽利用液体供应单元、气体供应单元及药剂供应单元对第一承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板进行蚀刻并作初步清洗；

步骤三：将蚀刻及初步清洗后的第一承载匣移入于连接有液体供应单元及气体供应单元的清洗槽中，进行二次清洗，并同时于第二承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板，将第二承载匣移入第二蚀刻清洗槽中，并使第二蚀刻清洗槽以液体供应单元、气体供应单元及药剂供应单元对第二承载匣中的多个TFT LCD玻璃进行蚀刻并作初步清洗；