[发明专利]TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法

权利要求书

1. 一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，其包括有：

至少两个承载匣，各承载系可供承载欲蚀刻的TFT LCD玻璃基板；

至少两个蚀刻清洗槽，各蚀刻清洗槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，且各蚀刻清洗槽分别连接一液体供应单元、一气体供应单元及一药剂供应单元；

一清洗槽，该清洗槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，且该清洗槽分别与上述液体供应单元及气体供应单元连接；以及

一干燥槽，该干燥槽可供容置上述承载TFT LCD玻璃基板的承载匣，该干燥槽与上述气体供应单元连接。

2. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，该各蚀刻清洗槽可至少定义为一第一蚀刻清洗槽及一第二蚀刻清洗槽。

3. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，各蚀刻清洗槽分别连通有一进水管、出水管，且各进水管与该药剂供应单元连接，另各出水管分别与一连接该药剂供应单元的暂存槽连接。

4. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，各蚀刻清洗槽的两侧分别具有连接一泵的冲击单元，各冲击单元分别具有一推出口，且推出口处具有一设置于蚀刻清洗槽两侧的冲击板，且该冲击板上具有多个孔隙，并于各蚀刻清洗槽的底部两侧分别具有一吸入口且也与该泵相连接。

5. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，各蚀刻清洗槽内部的一端分别具有一与液体供应单元连通的上喷嘴组，且另一端分别具有一与液体供应单元及气体供应单元连通的下喷嘴组。

6. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，该清洗槽连通有一进水管、出水管，且该出水管排放清洗后废水。

7. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，该清洗槽内部的一端分别具有一与液体供应单元连通的上喷嘴组，且另一端分别具有一与液体供应单元及气体供应单元连通的下喷嘴组。

8. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，该干燥槽连通有一排水管。

9. 根据权利要求1所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻装置，其特征在于，该干燥槽内部的两侧分别具有与气体供应单元连通的风刀组。

10. 一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻方法，其特征在于，其至少包括有下列步骤：

步骤一：提供至少第一及第二蚀承载匣与第一及第二蚀刻清洗槽，而该第一及第二蚀刻清洗槽连接一液体供应单元、一气体供应单元及一药剂供应单元；

步骤二：先于第一承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板，将第一承载匣移入第一蚀刻清洗槽中，并使第一蚀刻清洗槽利用液体供应单元、气体供应单元及药剂供应单元对第一承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板进行蚀刻并作初步清洗；

步骤三：将蚀刻及初步清洗后的第一承载匣移入于连接有液体供应单元及气体供应单元的清洗槽中，进行二次清洗，并同时于第二承载匣中放置多个TFT LCD玻璃基板，将第二承载匣移入第二蚀刻清洗槽中，并使第二蚀刻清洗槽以液体供应单元、气体供应单元及药剂供应单元对第二承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板进行蚀刻并作初步清洗；

步骤四：将清洗完成后第一承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板移入于连接气体供应单元的干燥槽中，进行烘干，从而完成第一承载匣中多个TFT LCD玻璃基板的蚀刻，并同时将蚀刻及初步清洗后第二承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板移入于上述清洗槽中进行二次清洗；以及

步骤五：再将清洗完成后第二承载匣中的多个TFT LCD玻璃基板置入于上述干燥槽中，进行烘干，从而完成第二承载匣中多个TFT LCD玻璃基板的蚀刻。

11. 根据权利要求10所述的TFT LCD玻璃基板的蚀刻方法，其特征在于，该第一及第二蚀刻清洗槽分别连通有一进水管、出水管，各进水管与该药剂供应单元连接，做为药剂供应，另各出水管分别与一连接该药剂供应单元的暂存槽连接，做为药剂的暂存及回收。