[发明专利]薄膜晶体管基板、电湿润式显示装置及薄膜晶体管基板制造方法有效
申请号: | 200710076570.9 | 申请日: | 2007-08-24 |
公开(公告)号: | CN101373777A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | 李睿匀;黄荣龙 | 申请(专利权)人: | 群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/48;H01L21/84;H01L21/28;G02B26/02;G09F9/37 |
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地址: | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 湿润 显示装置 制造 方法 | ||
技术领域
本发明是关于一种薄膜晶体管基板、薄膜晶体管基板制造方法及采用该薄膜晶体管基板的电湿润式显示装置。
背景技术
如今,诸多光电技术正在快速的发展且应用来下一代平板显示器,如投影显示器(Projection Display)、可挠式显示器(FlexibleDispaly)等。在此环境下,一种基于电湿润原理的显示装置由于其响应速度快、视角广、耗电量小、轻薄便携等优点受到广泛的关注。
请参阅图1,是一种现有技术揭示的基于电湿润原理的反射式显示装置的平面结构示意图。该显示装置1包括多个呈矩阵排列的像素单元10,通过控制该像素单元10显示不同的灰阶以组成该显示装置1所需显示的画面。
请参阅图2,是图1所示显示装置1的一像素单元10的放大剖视结构示意图。该像素单元10包括一上基板11、一与其相对的下基板12及设置在该二基板11、12之间的四侧壁13,该四侧壁13依序首尾相接与该二基板11、12形成一收容空间14。该上基板11是使用透光材料制成,如玻璃或塑料。
该收容空间14由互不相融(Immiscible)的一第一液体15及一第二液体16充满。例如,该第一液体15可以是导电的水,该第二液体16可以是黑色的油。
该下基板12邻近该收容空间14的表面依序设置有一主动矩阵(图未示)、一反射电极121及一绝缘层122,从而构成一用来驱动该显示装置1的薄膜晶体管基板。由于该反射电极121须具有较高的反率,故采用纯铝制成。该绝缘层122是由疏水性(Hydrophobic)材料制成,如无定型的含氟聚合物(Amorphous Fluoropolymer)。
由于该绝缘层122的疏水性,即由于该绝缘层122、第一液体15及第二液体16三者之间的表面张力(Interfacial Tension)作用,该第二液体16充分覆盖该绝缘层122。由于该第二液体16呈黑色,吸收了绝大部分自该上基板11方向射入的光束,故此时的像素单元10为暗态(Off State)。
请一起参阅图3,是图2所示像素单元10亮态结构示意图。当一电压差加载在该第一液体15与该反射电极121上时,该第一液体15与该反射电极121各自所载的异性电荷的吸引力破坏了暗态时分子张力的平衡态,即此时电势能的介入使该绝缘层122与第一液体15倾向于接触,故该第一液体15将该第二液体16排开,从而自该上基板12方向射入的光束经过上述被排开的部分所对应的反射电极121反射,实现亮态(On State)。
但是,该反射电极121是由纯铝制成,而纯铝表面一般会自然的形成诸多突起(Hillock),在后续形成绝缘层122时,对应该反射电极121突起的部位会较薄,甚至会被该突起刺破,容易导致该反射电极121与该第一液体15之间电场不都,从而使该薄膜晶体管基板可靠性较低,也使采用该薄膜晶体管基板的显示装置1显示效果较差。
发明内容
为了解决上述用于电湿润式显示装置的薄膜晶体管基板可靠性较低的问题,有必要提供一种可靠性较高的用于电湿润式显示装置的薄膜晶体管基板。
同时,也有必要提供该用于电湿润式显示装置的薄膜晶体管基板的制造方法。
同时,也有必要提供一种显示效果较佳的电湿润式显示装置。
一种用于电湿润式显示装置的薄膜晶体管基板,其包括一基底、多个设置在该基底上的薄膜晶体管、多个设置在该基底上的反射电极和一设置在该反射电极上的斥水性绝缘层,其中,该反射电极包括一第一金属层和一透光的保护层,该第一金属层设置在该保护层与基底之间。
一种电湿润式显示装置,其包括一对向基板、一与该对向基板相对的薄膜晶体管基板、多个设置在该对向基板与该薄膜晶体管基板之间的侧壁、一设置在该对向基板与该薄膜晶体管基板之间的导电的第一液体和一设置在该对向基板与该薄膜晶体管基板之间的非导电的第二液体,该第一液体与该第二液体互不相融,该薄膜晶体管基板包括一基底、多个设置在该基底上的薄膜晶体管、多个设置在该基底上的反射电极和一设置在该反射电极上的斥水性绝缘层,其中,该反射电极包括一第一金属层和一透光的保护层,该第一金属层设置在该保护层与基底之间。
一种用于电湿润式显示装置的薄膜晶体管基板制造方法,其包括提供一基底;在该基底上形成多个薄膜晶体管;在该基底上形成一第一金属层;在该第一金属层上形成一透光的保护层,使该第一金属层和该保护层用来形成一反射电极;在该反射电极上形成一斥水性绝缘层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的