[发明专利]三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料及其制备和应用无效
| 申请号： | 200710055302.9 | 申请日： | 2007-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101058435A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冯守华;胡滨;袁宏明;杨铭 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C01G1/00 | 分类号： | C01G1/00;C04B41/50;C04B41/52;C03C17/23;C03C17/36 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130012吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重价 态钙钛矿型锰 氧化物 薄膜 材料 及其 制备 应用 | ||
1、一种三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料，其特征在于，组成的通式为La1-x-yMxKyMnO3，其中M＝Ca、Sr或Ba，0＜x＜1，0＜y＜1，x+y＜1。
2、按照权利要求1所述的三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料，其特征在于，所说的薄膜材料的厚度为50nm～5000nm；生长在单晶Si衬底、石英衬底、ITO玻璃衬底、单晶SrTiO3衬底或单晶LaAlO3衬底上。
3、一种权利要求1的三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，有水热法合成靶材和用射频磁控溅射方法制备薄膜的步骤；
所说的水热法合成靶材是，以硝酸镧、碱土金属硝酸盐、高锰酸钾、二氯化锰为反应原料，按照摩尔比有硝酸镧∶碱土金属硝酸盐∶高锰酸钾∶二氯化锰＝1∶4～0.1∶2.4～1.8∶3.2～0.8投入原料，混合搅拌，加入碱金属氢氧化物使之形成悬浊液；将该悬浊液液转移至具有聚四氟乙烯内衬的不锈钢反应釜中，在180℃～300℃经水热反应1～5天，得到三重价态钙钛矿型锰氧化物黑色晶体；将制得的晶体研磨，压片，在800℃～1300℃经6～8h烧结，得到所用的靶材；
所说的用射频磁控溅射方法制备薄膜是，以单晶Si衬底、石英衬底、ITO玻璃衬底、单晶SrTiO3衬底或单晶LaAlO3为衬底，射频功率为30W～150W；溅射室的背景真空度为6×10-4Pa～2×10-3Pa；溅射气压为0.5Pa～5.0Pa；整个溅射过程按流量比1∶4～1通入氧气、氩气混合气体；溅射过程加热衬底温度为600℃-1000℃。
4、按照权利要求3所述的三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，所说的碱土金属硝酸盐是Ca(NO3)2、Sr(NO3)2或Ba(NO3)2；所说的碱金属氢氧化物是KOH或NaOH。
5、一种权利要求1的三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料的应用，其特征在于，在常温下三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料具有p-n结整流性质，作为独立器件在晶体管、集成电路、整流器、激光器、光电探测器件、微波器件、光电转换器件或量子计算集成器件方面得到应用。
6、按照权利要求5所述的三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料的应用，其特征是，所说的独立器件是根据应用需要，经微电子制作工艺对薄膜材料修饰并连接电极。
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