[发明专利]用膨胀石墨或柔性石墨纸制备碳化硅制品的方法

权利要求书

1.用膨胀石墨或柔性石墨纸制备碳化硅制品的方法，其特征在于它包括如下步骤：

1)素坯成型：采用下述三种之一，

a)将膨胀石墨放入模具中以15-30MPa的压力压制成需要的形状既得到可进一步处理的素坯；

b)制造薄板状、片状、波纹状、弧形板的制品，直接用市售柔性石墨纸在模具中冲压成所需形状，冲压压力以能够成型即可；

c)厚度不足所需时，用多层石墨纸叠在一起，并用任何只要含有C、H、O元素的粘结剂将其粘接起来；在模具中冲压成所需形状，冲压压力以能够成型即可；

2)涂敷硅粉：

a)称取杂质重量百分含量≤1％，粒度＜50目的硅粉，硅粉和素坯的重量比为：硅粉/素坯＝(93-117)/100；

b)将硅粉均匀涂敷在素坯体上表面，将涂敷过硅粉的素坯体制成为生坯；

涂敷硅粉时，硅粉先加入乙醇或丙酮易挥发有机溶剂调成糊状再进行涂敷；并将生坯于110-140℃烘干4小时以上；

在硅粉中加入占硅粉重量≤3％的Nb、Ta、Mo或W金属粉；

3)反应烧成：

a)将生坯放入高温炉中，放置时必须将涂敷有硅粉的面朝上，并尽可能保持水平；

高温炉指所有能达到1800℃以上，能抽真空或通入惰性气体的高温炉；

将生坯放入高温炉中，多层放置时需要使用碳素材料制成的棚架；

b)抽真空或充入惰性气体，升温到1800-2000℃，保温15-45分钟，自然冷却至室温，或自然冷却至400-500℃，然后开炉快冷至室温；得到所需要的碳化硅制品。