[发明专利]一种可增大工艺窗口的金属层版图布图方法有效
| 申请号： | 200710047359.4 | 申请日： | 2007-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101419634A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 刘庆炜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增大 工艺 窗口 金属 版图 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种可增大工艺窗口的金属层版图布图方法，用于供使用者使用版图布图软件进行金属层的版图布图，该金属层具有多条平行的金属导线，该多条平行的金属导线上连接有接触孔，该版图布图方法包括以下步骤：(1)放置金属层对应的金属导线图形，其中，该金属导线图形包括多条平行的金属导线对应的平行金属导线图形；(2)搜寻出间距小于最小光刻容许间距的平行金属导线图形对；(3)通过调整所搜索出的平行金属导线图形对中任一根或两根的宽度来将该平行金属导线图形对的间距调整至最小光刻容许间距；其特征在于，该方法还包括步骤(4)在进行宽度调整的平行金属导线图形的边缘上设置恰遮蔽与该平行金属导线连接的接触孔的遮蔽图形。
2.如权利要求1所述的可增大工艺窗口的金属层版图布图方法，其特征在于，该最小光刻容许间距为130纳米。
3.如权利要求1所述的可增大工艺窗口的金属层版图布图方法，其特征在于，该遮蔽图形为长方块。
4.如权利要求1所述的可增大工艺窗口的金属层版图布图方法，其特征在于，该版图布图软件为L-Edit版图布图软件。
5.如权利要求1所述的可增大工艺窗口的金属层版图布图方法，其特征在于，该版图布图软件为Cadence版图布图软件。
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