[发明专利]一种晶圆盒清洗提示系统以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及晶圆盒的清洗，尤其涉及一种晶圆盒清洗提示系统以及方法。

背景技术

在半导体制造领域，载送晶圆的晶圆盒(POD)在使用一定时期(该时期可依据生产线实际状况确定，通常为2至3个月)后就需进行清洗，该一定时期即为清洗周期。在进行清洗时，需将晶圆盒拆开，即将晶圆盒的识别模块(通常为智能标签或纸制标签)、晶圆盒的门、固定器和接脚等构件拆开，然后将可放置在去离子水中进行清洗的部件放置中在去离子水中并通过超声波进行清洗，将不能沾水的部件使用有机溶剂进行擦拭。在完成清洗后将各部件组装，且将有瑕疵的晶圆盒挑出进行维修，然后将无瑕疵的晶圆盒投入生产线进行使用，当识别模块为智能标签时，需通过信息读写装置(智能标签读写器)在晶圆盒的识别模块中写入对应的批编号(每个晶圆盒具有唯一的批编号)和需清洗时间(等于写入时时间加上清洗周期)，当识别模块为纸质标签时，需在该纸质标签上标示出批标号和需清洗时间。

当对生产线上的需清洗的晶圆盒进行清洗时，需通过人工方式去生产线上通过查看各晶圆盒的需清洗时间(标示在智能标签或纸质标签上)以查找出该些需要进行清洗的晶圆盒，由于生产线上的晶圆盒数量非常多，且分布在各个工序上，从而导致操作者工作量过大，同时采用人工方式查找该些需进行清洗的晶圆盒易产生人为疏漏，从而出现晶圆盒已过需清洗时间但还在超期使用的现象，如此将存在着生产线被污染的隐患。

因此，如何提供一种晶圆盒清洗提示系统以及方法以节约人力且避免晶圆盒过期使用，已成为业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆盒清洗提示系统以及方法，通过所述提示系统以及方法可大大节约人力且避免晶圆盒过期使用。

本发明的目的是这样实现的：一种晶圆盒清洗提示系统，搭载在一生产制造软件中，用于提示操作者对生产线上进入清洗提示时间范围的晶圆盒进行清洗，该晶圆盒具有一识别模块，该识别模块在晶圆盒进入生产线时通过一信息读写装置写入对应的批编号和需清洗时间，该生产制造软件将信息读写装置写入识别模块的批编号和需清洗时间存储至一识别信息数据库，并将晶圆盒在生产线上的位置信息及其对应的批编号实时更新存储至一位置数据库，该提示系统包括：一提示启动值存储模块，用于存储该清洗提示时间范围所对应的清洗提示启动值；一统计模块，用于依据当前时间、提示启动值存储模块中所存储的清洗提示启动值和识别信息数据库中所存储的需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；一撷取模块，用于从识别信息数据库和位置数据库中撷取统计模块所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息；以及一输出模块，用于输出撷取模块所撷取的数据以提示操作者据此进行清洗。

在上述的晶圆盒清洗提示系统中，当晶圆盒的需清洗时间与当前时间的差值不大于该清洗提示启动值时，该晶圆盒进入该清洗提示时间范围。

在上述的晶圆盒清洗提示系统中，该生产制造软件为制造执行系统软件。

在上述的晶圆盒清洗提示系统中，该识别模块为智能标签。

在上述的晶圆盒清洗提示系统中，该信息读写装置为智能标签读写器。

本发明还提供一种通过上述的晶圆盒清洗提示系统进行晶圆盒清洗提示的方法，该方法包括以下步骤：(1)存储清洗提示时间范围所对应的清洗提示启动值；(2)依据当前时间、所存储的清洗提示启动值和识别信息数据库中所存储的需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；(3)从识别信息数据库和位置数据库中撷取出所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息；(4)将所撷取的数据输出以提示操作者据此进行清洗。

在上述的晶圆盒清洗提示方法中，在步骤(2)中，将需清洗时间与当前时间的差值不大于该清洗提示启动值的晶圆盒统计为进入清洗提示时间范围的晶圆盒。

与现有技术中通过人工方式管控晶圆盒的清洗存在着工作量大和易导致晶圆盒过期使用相比，本发明的晶圆盒清洗提示系统以及方法存储有对应清洗提示时间范围的清洗提示启动值，并依据清洗提示启动值、当前时间和需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒，然后再撷取出该晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息，最后将所撷取的信息输出以提示操作者据此进行清洗，如此可大量节约人力成本，避免了人为疏漏所造成的晶圆盒超期使用的现象。

附图说明

本发明的晶圆盒清洗提示系统以及方法由以下的实施例及附图给出。

图1为本发明的晶圆盒清洗提示系统的方框图；

图2为本发明的晶圆盒清洗提示方法的流程图。

具体实施方式

以下将对本发明的晶圆盒清洗提示系统以及方法作进一步的详细描述。