[发明专利]一种晶圆盒清洗提示系统以及方法

权利要求书

1.一种晶圆盒清洗提示系统，搭载在一生产制造软件中，用于提示操作者对生产线上进入清洗提示时间范围的晶圆盒进行清洗，该晶圆盒具有一识别模块，该识别模块在晶圆盒进入生产线时通过一信息读写装置写入对应的批编号和需清洗时间，该生产制造软件将信息读写装置写入识别模块的批编号和需清洗时间存储至一识别信息数据库，并将晶圆盒在生产线上的位置信息及其对应的批编号实时更新存储至一位置数据库，其特征在于，该提示系统包括：一提示启动值存储模块，用于存储该清洗提示时间范围所对应的清洗提示启动值；一统计模块，连接于所述提示启动值存储模块及识别信息数据库之间，用于依据当前时间、提示启动值存储模块中所存储的清洗提示启动值和识别信息数据库中所存储的需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；一撷取模块，连接于所述统计模块、识别信息数据库及位置数据库之间，用于从识别信息数据库和位置数据库中撷取统计模块所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息；以及一输出模块，连接于所述撷取模块，用于输出撷取模块所撷取的数据以提示操作者据此进行清洗。

2.如权利要求1所述的晶圆盒清洗提示系统，其特征在于，当晶圆盒的需清洗时间与当前时间的差值不大于该清洗提示启动值时，该晶圆盒进入该清洗提示时间范围。

3.如权利要求1所述的晶圆盒清洗提示系统，其特征在于，该识别模块为智能标签。

4.如权利要求1所述的晶圆盒清洗提示系统，其特征在于，该信息读写装置为智能标签读写器。

5.一种通过如权利要求1所述的晶圆盒清洗提示系统进行晶圆盒清洗提示的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)存储清洗提示时间范围所对应的清洗提示启动值；(2)依据当前时间、所存储的清洗提示启动值和识别信息数据库中所存储的需清洗时间统计出进入清洗提示时间范围的晶圆盒；(3)从识别信息数据库和位置数据库中撷取出所统计出的晶圆盒对应的批编号、需清洗时间和位置信息；(4)将所撷取的数据输出以提示操作者据此进行清洗。

6.如权利要求5所述的晶圆盒清洗提示方法，其特征在于，在步骤(2)中，将需清洗时间与当前时间的差值不大于该清洗提示启动值的晶圆盒统计为进入清洗提示时间范围的晶圆盒。