[发明专利]一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法

权利要求书

1.一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特征在于包括下述步骤：

(一)锌源和硫源前驱体的制备

将无机或有机锌盐溶解于去离子水形成溶液，向其中滴加络合剂溶液，得到稳定的锌离子配合物溶液。前驱体中锌离子浓度范围为0.001-1mol/l，锌离子与络合剂的摩尔浓度比范围为1-1/10；

将水溶性无机硫化物完全溶解于去离子水中，即得到硫源前驱体溶液锌离子与硫离子的摩尔浓度比范围为0.5-5；

(二)衬底准备

选用表面光滑的无机或有机材料衬底，表面清洗，烘干；

(三)薄膜生长

(1)将衬底浸渍于锌源前驱体溶液，使锌络离子吸附在衬底表面，持续时间10-300秒，

(2)取出衬底在去离子水中进行超声辐照，持续时间10-300秒，

(3)将衬底转移到硫源前驱体溶液，使衬底表面吸附的锌络离子与硫离子反应，并进行硫离子的吸附，持续时间10-300秒，

(4)取出衬底在去离子水中进行超声辐照，移除表面可能存在的大颗粒，持续时间10-300秒，

将步骤(1)-(4)重复进行30-200次，即可在衬底上获得具有具有高透光率的致密ZnS薄膜。

2.按权利要求1所述的一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特征在于所述的无机或有机锌盐包括硫酸锌、硝酸锌、氯化锌、醋酸锌。

3.按权利要求1所述的一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特征在于所述的络合剂包括氨水、乙二胺、三乙醇胺、EDTA。

4.按权利要求1所述的一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特征在于所述的硫化物包括硫化钠、硫化钙、硫化钾、硫化铵等。

5.按权利要求1所述的一种室温条件下沉积非晶硫化锌薄膜的方法，其特征在于所述的衬底可为普通玻璃、导电玻璃、蓝宝石、单晶硅等。