[发明专利]一种改进的真空泵系统有效
| 申请号： | 200710043873.0 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101348898A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 顾琛;许国青;杨晨;董家伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改进 真空泵 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进的真空泵系统，所述真空泵系统包括：
一干燥泵；
受所述干燥泵控制的第一腔体与第二腔体；
若干常关阀，外部气体通过所述常关阀进入所述腔体；
其特征在于，所述真空泵系统还包括一第一常开阀与一第二常开阀，所述 第一常开阀设置于所述第一腔体与所述第二腔体的气源之间，所述第二常开阀 设置于所述第二腔体与所述第一腔体的气源之间。
2.如权利要求1所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述常关阀在普通状 态关闭，通气时打开。
3.如权利要求1所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述常开阀在普通状 态打开，通气时关闭。
4.如权利要求1所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述真空泵系统还包 括若干设置于所述常开阀与腔体的气源之间的单向气阀。
5.如权利要求2所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述常关阀包括一针 形阀以及一隔离阀。
6.如权利要求1所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述腔体为晶舟传送 腔体。
7.如权利要求1所述的改进的真空泵系统，其特征在于，所述外部气体为洁净 的干燥空气。
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