[发明专利]半导体测试管理系统无效
| 申请号： | 200710043871.1 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101349723A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 吕秋玲;许俊;庄祈龙;王明珠 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/01;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 测试 管理 系统 | ||
【权利要求书】：
1、一种半导体测试管理系统，包括：
电路针测图，记录晶圆的电性特性；
自动缺陷检测装置，检测晶圆的缺陷信息；
存储筛选软件的计算机，筛选软件具有筛选标准对晶圆的缺陷信息进行筛选。
2、如权利要求1所述的半导体测试管理系统，其特征在于：所述的自动缺陷检测装置根据缺陷信息库生成KLAF文件，该KLAF文件包括半导体晶圆的格标识、槽标识，相应的缺陷信号二进制信息。
3、如权利要求1所述的半导体测试管理系统，其特征在于：所述的筛选软件的筛选标准可以根据缺陷的尺寸、类型、数量由操作者定义。
4、如权利要求1所述的半导体测试管理系统，其特征在于：所述的计算机根据筛选结果生成缺陷检测图。
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