[发明专利]不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法

权利要求书

1、一种不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于包括下列步骤：

a.将金属工件固定在电弧离子镀膜设备真空室内的工件转盘上并抽真空；

b.将氩气通入真空室，并保持真空度的稳定，然后开启离子源将金属工件表面活化；

c.关闭氩气，将金属工件和真空室之间加载负偏压，开启钛电弧源使金属工件表面沉积钛过渡层；

d.将氮气通入真空室，并保持真空度的稳定，使金属工件表面沉积氮化钛过渡层；

e.开启石墨电弧源，设定石墨电弧源的初始放电频率，并控制石墨电弧源每放电一定脉冲数适当提高放电频率使金属工件表面沉积碳氮化钛过渡层；

f.关闭氮气、钛电弧源，控制石墨电弧源的放电脉冲数使金属工件表面沉积类金刚石薄膜。

2、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述a步骤真空室的真空度优于5×10^-3Pa。

3、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述真空室通入氩气时，真空度应稳定在3.2×10^-2Pa～4.9×10^-2Pa，通入氮气时，真空度应稳定在1.0×10^-2Pa～1.3×10^-2Pa。

4、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述金属工件和真空室之间加载负偏压为-800V～-1500V。

5、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述石墨电弧源的初始放电频率设定为16Hz。

6、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述f步骤石墨电弧源的放电脉冲数控制在250000～300000个。

7、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述离子源的工作电压为2.0kV～3.0kV，工作时间为10min～30min。

8、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述钛电弧源的工作电流为55A～90A，工作时间为2min～5min。

9、根据权利要求1所述不锈钢金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，其特征在于所述石墨电弧源每放电一定脉冲数适当提高放电频率是每放电1000～3000个脉冲，放电频率提高8Hz，放电频率升高到32Hz后完成碳氮化钛过渡层的沉积。