[发明专利]光阻回收系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种供应光阻的系统，特别涉及能有效回收并利用光阻的回收系统。

背景技术

光阻是一种具有特定分子结构的光敏物质，它在入射光的作用下发生变化，是半导体制造工艺中非常重要的材料。一般的半导体制造工艺中通常包括多道工序，其中半导体外部物体如晶圆的布图需要采用光阻并对光阻进行受控的曝光。由于大部分的光阻为液态，因此需要将光阻由一存储器推送至喷嘴以涂布至晶圆上，且还需通过一过滤器，所述过滤器去除杂质。

图1示出了一种用于在半导体制造工艺中供应光阻的传统供应系统。该系统包括：一个存储光阻的容器1；一个中间箱4，它具有一个检测中间箱4中光阻是否存在的传感器和一个用于从此中间箱4排除气泡的瞬间阀2和排放管3；一个泵6，用于从中间箱4抽取光阻；一个过滤器7，用于除去光阻的颗粒杂质，它具有一个用于排除带有气泡的光阻的排放管5；一个气动阀8，控制光阻的输出流量；一个喷嘴9，将光阻均匀涂覆于晶圆上。

在上述系统中，氮气(N₂)经由连接器注入存储光阻的容器1中，用以将光阻推进中间箱4中。通过泵6将光阻从中间箱4抽至过滤器7之后，会有2-3毫升的光阻从过滤器7中的排放管5被排除或泄出。此排泄过程能除去光阻中的气泡，如果气泡留在光阻中，半导体晶圆上会产生涂覆缺陷，排出的光阻通常被倒入废料桶中。相似地，当根据中间箱4中的传感器检测系统更换了空的光阻容器1时或中间箱4存储饱和后，从中间箱4排出的光阻通常通过排放管3流入废料桶中。且在定期维护或清洗中，整个光阻供应系统会有100-250毫升的光阻被清洗掉，过滤器7中至少有500毫升光阻由于定期维护被排泄掉。上述三种情况不可避免地浪费了光阻，在大规模生产中，被浪费的光阻可造成严重的资金损耗，增加了生产成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光阻回收系统，该光阻回收系统回收利用被排出的光阻，提高光阻利用率，同时能降低生产成本。

为了达到所述的目的，本发明提供了一种光阻回收系统，包括：一个存储容器，用于存储光阻；一个过滤器，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其中，光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的光阻回收系统还包括一个中间箱，用于从存储容器中接收光阻；一个泵，用于从中间箱中将光阻抽至过滤器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的光阻回收系统还包括一个喷嘴，用于从过滤器接收光阻，并用于将光阻涂于一外部物体；一个气动阀，它连至喷嘴，以控制光阻的流量。

在上述的光阻回收系统中，所述的回收容器通过回流导管将光阻回流至存储容器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的回流导管插入存储容器中且位于存储容器的底端为齿状。

在上述的光阻回收系统中，如前所述的回收容器为至少是300毫升的容器。

本发明还提供了一种光阻回收系统，包括：一个存储容器，用于存储光阻；一个中间箱，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从中间箱排放光阻的排放管；一个过滤器，用于从中间箱接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；其中，光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器、中间箱的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的光阻回收系统还包括一个泵，用于从中间箱中将光阻抽至过滤器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的光阻回收系统还包括一个喷嘴，用于从过滤器接收光阻，并用于将光阻涂于一外部物体；一个气动阀，它连至喷嘴，以控制光阻的流量。

在上述的光阻回收系统中，所述的回收容器通过回流导管将光阻回流至存储容器中。

在上述的光阻回收系统中，所述的回流导管插入存储容器中且位于存储容器的底端为齿状。

在上述的光阻回收系统中，如前所述的回收容器为至少是300毫升的容器。

本发明由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果：

1.回收利用光阻，避免光阻材料的浪费，节约生产成本。

2.减少光阻中的气泡产生，提高光阻的利用率。

附图说明

本发明的光阻回收系统由以下的实施例及附图给出。

图1为一种半导体制造工艺中供应光阻的传统供应系统示意图；

图2为本发明的光阻回收系统示意图；

图3为插入存储光阻容器中的回流导管的局部放大图；

具体实施方式