[发明专利]光阻回收系统无效
| 申请号： | 200710042408.5 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101329512A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 卢健;张建峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回收 系统 | ||
1、一种光阻回收系统，包括：
一个存储容器，用于存储光阻；
一个过滤器，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；
其特征在于：光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。
2、如权利要求1所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的光阻回收系统还包括一个中间箱，用于从存储容器中接收光阻；一个泵，用于从中间箱中将光阻抽至过滤器中。
3、如权利要求2所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的光阻回收系统还包括一个喷嘴，用于从过滤器接收光阻，并用于将光阻涂于一外部物体；一个气动阀，它连至喷嘴，以控制光阻的流量。
4、如权利要求1所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回收容器通过回流导管将光阻回流至存储容器中。
5、如权利要求4所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回流导管插入存储容器中且位于存储容器的底端为齿状。
6、如权利要求1或4所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回收容器为至少是300毫升的容器。
7、一种光阻回收系统，包括：
一个存储容器，用于存储光阻；
一个中间箱，用于从存储容器接收光阻，并具有一个从中间箱排放光阻的排放管；
一个过滤器，用于从中间箱接收光阻，并具有一个从过滤器排出的排放管；
其特征在于：光阻回收系统还包括一个回收容器，它连接在过滤器、中间箱的排放管与存储容器之间，用于使过滤器排出的光阻回流至存储容器中。
8、如权利要求7所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的光阻回收系统还包括一个泵，用于从中间箱中将光阻抽至过滤器中。
9、如权利要求8所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的光阻回收系统还包括一个喷嘴，用于从过滤器接收光阻，并用于将光阻涂于一外部物体；一个气动阀，它连至喷嘴，以控制光阻的流量。
10、如权利要求7所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回收容器通过回流导管将光阻回流至存储容器中。
11、如权利要求10所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回流导管插入存储容器中且位于存储容器的底端为齿状。
12、如权利要求7或10所述的光阻回收系统，其特征在于：所述的回收容器为至少是300毫升的容器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710042408.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：数字辅助PLL锁相环电路
- 下一篇：板状口嚼式烟糖
