[发明专利]气化器

权利要求书

1、一种气化器，它由气化罐、载气储罐和镀膜前驱液储罐组成，载气储罐通过管道与气化罐连接，镀膜前驱液储罐上设有输液泵并通过管道与气化罐连接，气化罐上设有气体出口、内部设有雾化器和电热丝，其特征在于气化罐内腔底部设有压力式雾化器，载气储罐所连接的管道和镀膜前驱液储罐所连接的管道经汇总为一根管道后接入气化罐底部并与压力式雾化器相连，气化罐气体出口设置在气化罐的顶部并通过管道连接一个气体计量装置，气体计量装置通过管道连接一个保温控温装置，保温控温装置上设有通往反应器的管道。

2、根据权利要求1所述的气化器，其特征在于气化罐横截面上部呈锥体、下部呈倒锥体。

3、根据权利要求2所述的气化器，其特征在于载气储罐所连接的管道中和镀膜前驱液储罐所连接的管道中分别设有加热器。

4、根据权利要求3所述的气化器，其特征在于镀膜前驱液储罐的输液泵与加热器之间设有水冷装置。

5、根据权利要求1、2、3或4所述的气化器，其特征在于气化罐底部设有冷凝液回收槽。

6、根据权利要求1、2、3或4所述的气化器，其特征在于气化罐设有测温热电偶及电子控温装置。