[发明专利]有源矩阵基板、显示装置、电视接收机

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示装置，各种EL显示装置等显示装置，以及它 们所使用的有源矩阵基板。

背景技术

在图15中表示现有的有源矩阵基板的平面图。如该图所示，在各 像素区域50中，供给扫描信号用的扫描信号线52和供给数据信号用 的数据信号线53互相交叉地设置在该像素电极51的周围。另外，在 这些扫描信号线52和数据信号53的交叉部上设置有TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)54。扫描信号线52与TFT54的栅极电极55 连接，通过输入扫描信号，驱动控制TFT54。另外，数据信号线53与 TFT54的源极电极66a连接，输入数据信号。而且，漏极引出配线56 与TFT54的漏极电极66b连接。另外，为了防止由于TFT断开时的液 晶层的自己放电或TFT的断开电流而引起的图像信号的劣化，并在液 晶驱动的各种调制信号的施加路径等中使用，在像素区域50中形成有 保持电容配线59。

TFT54的漏极电极66b通过漏极引出配线56连接在与保持电容配 线59重叠的保持电容上电极57(漏极引出电极)上，该保持电容上电 极57通过接触孔58与像素电极51连接。另外，由保持电容上电极57 (漏极引出电极)和保持电容配线59形成保持电容。

图16(a)为包括上述现有的有源矩阵基板的接触孔的截面图。此 外，图16(b)为包括上述有源矩阵基板的驱动器连接用端子的截面图。

如图16(a)所示，在像素区域内的接触孔附近，在基板80上依 次形成有保持电容配线59、栅极绝缘膜81、漏极引出电极57、层间绝 缘膜87和像素电极51。层间绝缘膜87除去(通过蚀刻)在接触孔形 成位置的部分，形成接触孔58，由此，像素电极51和漏极引出电极 57连接。

另一方面，如图16(b)所示，在有源矩阵基板周边部的驱动器连 接用端子附近，在基板80上依次形成有驱动器连接用端子90、栅极绝 缘膜81和层间绝缘膜87。这里，驱动器连接用端子90通过蚀刻除去 在其上层的栅极绝缘膜81和层间绝缘膜87而露出到外部，与各种驱 动器(驱动装置)连接。

专利文献1：日本国公开专利公报“特开平11-133457号公报(平 成11年(1999)5月21日公开)”

专利文献2：日本国公开专利公报“特开平11-135622号公报(平 成11年(1999)5月21日公开)”

专利文献3：日本国公开专利公报“特开平6-112485号公报(平 成6年(1994)4月22日公开)”

发明内容

这里，为了缩短制造工序，尝试利用相同的蚀刻工序进行用于形 成接触孔的蚀刻工序和使基板上的驱动器连接用端子露出的蚀刻工 序。在该蚀刻工序中，层间绝缘膜的位于接触孔的开口内的部分和驱 动器连接用端子所在的部分(有源矩阵基板周边部)被同时蚀刻除去。 另外，在位于接触孔的开口内的部分中，进行蚀刻至漏极引出电极为 止，在驱动器连接用端子所在部分中进行蚀刻至驱动器连接用端子为 止。

但是，像这样在驱动器连接用端子所在的部分中对层间绝缘膜和 栅极绝缘膜进行蚀刻的同时，如果在位于接触孔内的部分中对层间绝 缘膜进行蚀刻，则在接触孔(底部)下的漏极引出电极上有形成不良 (针孔等)的情况下，产生其下层的栅极绝缘膜被除去(蚀刻)，漏极 引出电极(或像素电极)和保持电容配线发生短路的缺陷。

另外，在将漏极引出电极作成二层结构，在其上层使用与像素电 极(ITO)引起电腐蚀的物质(例如Al)的情况下等，存在预先挖通 接触孔下的漏极引出电极的情况。在这种情况下，由于在接触孔(底 部)下没有(成为蚀刻挡板)漏极引出电极，在接触孔开口内残留半 导体层，通过对该半导体层进行蚀刻，不能除去(蚀刻)栅极绝缘膜。 但是，半导体层的厚度和栅极绝缘膜的厚度有偏差，例如在半导体层 和栅极绝缘膜都薄的部分上，双方都被蚀刻，漏极引出电极(或像素 电极)和保持电容配线可能会短路。另外，由于该半导体层与成为TFT 的沟道的半导体层同时形成，所以为了避免蚀刻过度，不能增加厚度。 因此，TFT特性恶化。

本发明是鉴于上述问题而提出的。其目的在于提供能够可靠地防 止具有作为保持电容的一个电极的功能的导电体(例如，保持电容配 线)和漏极引出电极(或像素电极)的短路的有源矩阵基板。