[发明专利]有源矩阵基板、显示装置、电视接收机

权利要求书

1.一种有源矩阵基板，包括：晶体管；像素电极；具有作为保持 电容的一个电极的功能的导电体；与所述晶体管的漏极电极连接且与 所述导电体重叠的漏极引出电极；以及连接该漏极引出电极和所述像 素电极的接触孔，其特征在于：

在所述导电体及晶体管的栅极电极的形成层与晶体管的沟道形成 层之间设有栅极绝缘膜，

所述栅极绝缘膜包括：与接触孔重叠的第一膜厚部；和与该第一 膜厚部相邻，与所述漏极引出电极重叠的第二膜厚部，以及不与漏极 引出电极重叠的第三膜厚部，

所述第一膜厚部的膜厚比第二膜厚部的膜厚大，

所述第二膜厚部的膜厚比第三膜厚部的膜厚小。

2.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述导电体为保持电容配线。

3.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述导电体为位于扫描方向的前段或后段的扫描信号线。

4.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

在所述接触孔的开口下，存在形成漏极引出电极的部分和不形成 漏极引出电极的部分。

5.如权利要求4所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述漏极引出电极具有第一金属层和第二金属层的层叠结构，

在所述接触孔中，仅第一金属层与像素电极接触，第二金属层不 与像素电极接触。

6.如权利要求5所述的有源矩阵基板，其特征在于：

形成所述漏极引出电极的部分为在栅极绝缘膜上隔着半导体层形 成有第一金属层的结构。

7.如权利要求5所述的有源矩阵基板，其特征在于：

形成所述漏极引出电极的部分为在栅极绝缘膜上直接形成有第一 金属层的结构。

8.如权利要求5所述的有源矩阵基板，其特征在于：

第二金属层由Al构成。

9.如权利要求6所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述半导体层为位于栅极绝缘膜一侧的高电阻半导体层和低电阻 半导体层的层叠结构。

10.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

第一膜厚部由第一栅极绝缘层构成，第二膜厚部由第二栅极绝缘 层构成。

11.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

第一膜厚部由第一和第二栅极绝缘层构成，第二膜厚部由第二栅 极绝缘层构成。

12.如权利要求10或11所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述第一栅极绝缘层由旋涂玻璃(SOG)材料构成，形成在基板 上。

13.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

具有与所述导电体或各种信号线连接的驱动器连接用端子，

所述接触孔，通过与对在所述驱动器连接用端子的上层存在的栅 极绝缘膜和层间绝缘膜进行蚀刻，并使其露出的工序相同的工序形成。

14.如权利要求1所述的有源矩阵基板，其特征在于：

所述栅极绝缘膜由多个栅极绝缘层构成，在第二膜厚部上具有1 个以上的栅极绝缘层，在第一膜厚部中具有比所述第二膜厚部多的栅 极绝缘层。

15.如权利要求14所述的有源矩阵基板，其特征在于：

具有包含有机物的栅极绝缘层。