[发明专利]高反射层系统,用于制造该层系统的方法和用于实施该方法的设备有效
申请号: | 200680053109.5 | 申请日: | 2006-09-06 |
公开(公告)号: | CN101379218A | 公开(公告)日: | 2009-03-04 |
发明(设计)人: | 约尔格·法贝尔;埃克哈特·赖因霍尔德;卡斯滕·多伊斯;汉斯-克里斯蒂安·黑希特;大卫·舒伯特;乌韦·克拉拉普;亨德里克·胡梅尔 | 申请(专利权)人: | 冯·阿德纳设备有限公司 |
主分类号: | C23C28/02 | 分类号: | C23C28/02;C23C28/04;C23C14/02;C23C14/14;C23C14/34 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 车文;郑立 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反射层 系统 用于 制造 方法 实施 设备 | ||
1.用于涂覆基底的高反射层系统,其特征在于,所述层系统至少 含有下列层:
被构成为非光密性的第一材料的第一功能反射层;
第二材料的第二功能反射层;
第一透明介电层;
第二透明介电层,
其中第一功能反射层和第二功能反射层一同被构成为光密性的。
2.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述第一功能反 射层由金属或者金属合金组成。
3.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述第二功能反 射层由金属或者金属合金组成。
4.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述第一功能反 射层的材料包括铜,并且,所述第二功能反射层的材料由银或者银合 金组成。
5.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述第一透明介 电层由氧化硅组成。
6.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述第二透明介 电层由氧化钛组成。
7.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,硬质材料层和/或 光滑层设置在所述基底与所述第一功能反射层之间。
8.根据权利要求7所述的层系统,其特征在于,所述硬质材料层 和/或光滑层为氧化物层。
9.根据权利要求7所述的层系统,其特征在于,所述硬质材料层 和/或光滑层通过阳极氧化被构成。
10.根据权利要求7所述的层系统,其特征在于,所述硬质材料层 和/或光滑层为漆层。
11.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,第一增附剂层设 置在所述基底与所述第一功能反射层之间。
12.根据权利要求11所述的层系统,其特征在于,所述第一增附 剂层由金属、金属氧化物、金属氮化物或这些物质的混合物组成。
13.根据权利要求11所述的层系统,其特征在于,所述第一增附 剂层含有来自铬、钼、锌、钛、锡、铝、硅的组中的一种或多种成分。
14.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,在所述基底与所 述第一功能反射层之间设有硬质材料层和/或光滑层和第一增附剂层, 其中,所述第一增附剂层设置在所述硬质材料层和/或光滑层上,所述 硬质材料层和/或光滑层在其侧被直接设置在所述基底上。
15.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,第二增附剂层设 置在所述第一功能反射层与所述第二功能反射层之间。
16.根据权利要求15所述的层系统,其特征在于,所述第二增附 剂层由金属、金属氧化物、金属氮化物或这些物质的混合物组成。
17.根据权利要求15所述的层系统,其特征在于,所述第二增附 剂层含有来自氧化锌、氧化钛、氧化锡、氧化铝、氧化硅的组中的一 种或多种成分。
18.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,第三增附剂层设 置在所述第二功能反射层与所述第一透明介电层之间。
19.根据权利要求18所述的层系统,其特征在于,所述第三增附 剂层由金属、金属氧化物、金属氮化物或这些物质的混合物组成。
20.根据权利要求18所述的层系统,其特征在于,所述第三增附 剂层含有来自氧化锌、氧化钛、氧化锡、氧化铝、氧化硅的组中的一 种或多种成分。
21.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,在所述第二透明 介电层上设置至少一层另外的透明介电层。
22.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,所述层系统设置 在由金属或金属合金制成的基底上。
23.根据权利要求1所述的层系统,其特征在于,该层系统在选择 第一材料用于第一功能反射层时,同样允许通过电子束蒸发镀覆相对 厚的第二功能反射层。
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