[发明专利]搬运机器人

说明书

技术领域

本发明涉及从收纳盒搬运玻璃基板等工件的搬运机器人。 

背景技术

在薄型显示器的制造中使用的玻璃基板等方形板状的工件，是呈多段地被收纳在收纳盒内的。而且，在工件的处理时，从收纳盒一片一片地取出，向处理装置等运送，另外，处理完的工件再次被运入至收纳盒。在这样的设备中，需要将工件从收纳盒运出和运入的搬运机器人。 

作为这样的搬运机器人的例子，将机械手插入到收纳盒内后提起并从收纳盒运出的搬运机器人已为人们所知。但是，若工件大型化，则插入到收纳盒内的机械手也大型化，搬运机器人以及收纳盒会变得大型化。在日本特开2005-64431号公报中公开了保持工件的端部地将工件从收纳盒拉出并将工件搬运到放置部上的搬运机器人。与将机械手插入到收纳盒内的情况相比，通过保持工件的端部地将工件从收纳盒拉出，能够谋求搬运机器人以及收纳盒的小型化。另外，因为在收纳盒侧不需要用于运入运出工件的驱动机构，所以，能够谋求结构的简化。 

另一方面，在从收纳盒搬运的工件的运送目的地(处理装置或者其它的搬运机器人)被配置在从搬运机器人看时为与收纳盒相反侧的情况下，一般是在使搬运机器人暂且回转后，将工件搬运到运送目的地。但是，在这种方式中，在工件为长方形的情况下，作为搬运机器人能够回转的空间则需要更大的空间，系统整体的占有面积增大。在日本特开2005-255356号公报中公开了在将工件从收纳盒拉出后使工件在相同方向移动而将工件搬运到工件的运送目的地的搬运机器人。但是，在此搬运机器人中，是将工件从收纳盒拉出后由其它的机械手提起工件并将工件向工件的运送目的地搬运的机构。因此，需要分别设置用于将工件从收纳盒拉出的机械手(下称运入用机械手)和将工件向工件的运送目的地搬运的机械手(下称运出用机械手)，机构复杂化。另外，因为运出用机械手需要有支承工件的大小，因此，搬运机器人大型化。

发明内容

本发明是改善上述的现有技术的发明。 

根据本发明，提供一种搬运机器人，该搬运机器人是从以水平姿势收纳方形板状的工件的收纳盒运出上述工件的搬运机器人，其特征在于，具有：能够解除上述工件并保持的机械手；放置上述工件的放置部；使上述机械手向上述工件的运出方向以及该运出方向的相反方向往复移动的移动构件；对上述机械手和上述移动构件进行控制的控制构件，上述控制构件执行将上述工件从上述收纳盒向上述放置部上运送的第一运送控制、和为了将上述放置部上的上述工件从上述搬运机器人运出而将上述放置部上的上述工件在上述运出方向运送的第二运送控制，上述第一运送控制是这样的控制，即，以上述工件能够从上述收纳盒向上述放置部平行移动的方式，使上述机械手保持上述收纳盒内的上述工件的端部，由上述移动构件使上述机械手在上述运出方向移动，上述第二运送控制是这样的控制，即，在上述第一运送控制后，解除由上述机械手对上述工件的保持而将上述机械手向上述相反方向移动移动到预定的位置，在上述机械手移动到了上述预定的位置的情况下，由上述机械手再次保持上述放置部上的上述工件，由上述移动构件使上述机械手再次在上述运出方向移动，使上述工件向上述运出方向移动。 

在本发明中，通过上述机械手的往复移动，进行工件从上述收纳盒向上述搬运机器人的运入和已运入的工件向运送目的地的运出。即使是在从上述运送机器人看时，运送目的地被配置在与上述收纳盒相反侧的情况下，也不需要上述搬运机器人的回转。因此，仅仅不需要回转的部分的量，就能够谋求削减机器人的占有空间，周期时间的短时间化。另外，通过用相同的上述机械手进行工件的运入和运出，能够使机构简略化。在工件的运入以及运出期间，工件被上述放置部支承。因此，不要求上述机械手具有支承工件的大小，能够谋求上述搬运机器人的小型化。 

附图说明

图1是使用了有关本发明的一个实施方式的搬运机器人A的基板处理系统的布置图。 

图2是搬运机器人A以及基板收纳装置B的俯视图。 

图3是搬运机器人A以及基板收纳装置B的正视图。 

图4是搬运机器人A的分解立体图。 

图5是搬运机器人A的分解立体图。 

图6是基板收纳装置B的立体图。 

图7是收纳基板的收纳盒的立体图。 

图8是表示上述收纳盒的一段量的放置部的图。 

图9是构成基板收纳装置B的升降单元的立体图。 

图10是上述升降单元的分解立体图。 

图11是构成基板收纳装置B的空气喷出单元的立体图。