[发明专利]垂直发射的、被光泵浦的、在单独的衬底上具有外部谐振器和频率倍增器的半导体

说明书

本发明提供了一种可光泵浦的半导体装置。此外，本发明还提供了一种具有这种半导体装置的光学投影装置。 

要解决的任务在于提供一种特别紧凑的半导体装置。 

根据半导体装置的至少一个实施形式，半导体装置具有表面发射的半导体本体。半导体本体具有辐射穿透面，电磁辐射可以通过该辐射穿透面耦合输入半导体本体中并且可以从半导体本体中耦合输出。尤其是，半导体本体可通过辐射穿透面来光泵浦。这意味着，通过辐射穿透面被耦合输入半导体本体中的泵浦辐射在半导体本体中激发产生电磁辐射，该电磁辐射又通过辐射穿透面离开该半导体本体。半导体本体在此适于在使用设置在外部的(即与半导体本体间隔设置的)谐振腔反射器的情况下产生激光辐射。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，辐射穿透面背离半导体本体的安装平面。安装平面例如可以理解为第一支承体的主延伸平面，在该第一支承体上固定有半导体本体。在相同的支承体上于是可以固定有半导体装置的其他元件。辐射穿透面优选平行于或者基本上平行于半导体本体的安装平面地走向。“基本上平行”在此意味着，由于例如安装公差而会使辐射穿透面也与半导体本体的安装平面成一个小的角度。由半导体本体在工作时发射的、通过辐射穿透面射出的辐射垂直于或者基本上垂直于半导体本体的安装平面走向，并且与安装平面偏离。例如，半导体激光装置在此包括恰好一个泵浦辐射源。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，半导体装置除了具有半导体本体之外还具有光学元件，该光学元件适于将泵浦辐射偏转到半导体本体的辐射穿透面。这意味着，泵浦辐射从泵浦辐射源并不是直接指向半导体本体的辐射穿透面，而是泵浦辐射穿过至少一个光学元件或者射到至少一个光学元件上，该光学元件将泵浦辐射偏转到半导体本体的辐射穿透面上。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，半导体装置具有表 面发射的半导体本体，该半导体本体包括辐射穿透面，该辐射穿透面背离半导体本体的安装平面。此外，半导体装置具有光学元件，该光学元件适于将泵浦辐射偏转到半导体本体的辐射穿透面。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，半导体装置包括泵浦辐射源。优选地，半导体激光器模块例如边发射的半导体激光器或者边发射的半导体激光器条设置为泵浦辐射源。泵浦辐射源在此除了适于产生辐射的半导体本体之外还可以包括导热元件，半导体本体安装在该导热元件上。由导热元件和发射辐射的半导体本体构成的复合结构因此形成了半导体装置的泵浦辐射源。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，泵浦辐射源固定在平行于安装平面的平面中，或者固定在半导体本体的安装平面中。对此，泵浦辐射源和表面发射的半导体本体例如可以施加并且固定在共同的第一支承体上。此外，也可能的是，泵浦辐射源和表面发射的半导体本体分别施加到各自的支承体上并且两个支承体彼此机械相连。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，表面发射的半导体本体、用于将泵浦辐射偏转到半导体本体的辐射穿透面上的光学元件以及泵浦辐射源被施加到共同的第一支承体上。半导体装置的这些元件例如可以在共同的安装平面中或者在彼此平行走向的安装平面中被施加在共同的支承体上。 

根据可光泵浦的半导体装置的至少一个实施形式，第一支承体由连接支承体构成。优选地，泵浦辐射源电连接到连接支承体上。连接支承体例如是电路板。该连接支承体可以包括由电绝缘的、导热良好的材料构成的基本体。电印制导线可以施加在连接支承体的上侧(半导体本体也被施加到其上的侧)。借助印制导线，半导体装置的泵浦辐射源例如可以被电接触。 

根据半导体装置的至少一个实施形式，光学元件适于将泵浦辐射通过光学折射偏转到半导体本体的辐射穿透面上。也就是说，在穿透光学元件的辐射穿透面时，泵浦辐射由于光学元件和周围材料(例如空气)的折射率差而被偏转，使得泵浦辐射在穿过光学元件之后对准半导体本体的辐射穿透面。 

根据半导体装置的至少一个实施形式，光学元件适于将泵浦辐射通过反射偏转到半导体本体的辐射穿透面上。也就是说，光学元件是一种反射 光学元件。优选地，该光学元件适于将泵浦辐射通过一次的反射偏转到半导体本体的辐射穿透面上。也就是说，该光学元件优选并非是其中泵浦辐射通过多次反射来偏转的光导体。例如，该光学元件是高反射性的镜。例如，该镜是平面镜。也就是说，该镜例如不是凹面镜。