[发明专利]样品上标签的定位方法有效

专利信息
申请号: 200680048500.6 申请日: 2006-12-22
公开(公告)号: CN101427138A 公开(公告)日: 2009-05-06
发明(设计)人: H·N·斯林格兰德 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G01N33/58 分类号: G01N33/58;G01N21/64;G01N23/225
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张轶东;韦欣华
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 样品 标签 定位 方法
【权利要求书】:

1.一种分析样品的方法,该方法包括:

·在样品上预备大体上平坦的表面,

·使样品暴露于含有标签的标示试剂,由此将标签引入样品中,

·获得一系列样品图像,每个图像包括样品的信息,通过使样品 暴露于电子束或离子束可得到所述信息,

·获得标签在由此所得的每个图像中的相对位置,以及

·由所得的相对位置得到标签的相对位置的三维重构,

其特征在于:

·各个图像在大体上相同的方向上显示所述的样品,以及

·从处于该一系列图像的各连续图像之间的样品中除去表面层, 留下大体上平行于最初形成的平坦表面的新表面层。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述标签是发光的标签,所 述电子束或离子束是在样品的整个表面上扫描的精细聚焦的电子束或 离子束,并且其中所述的信息包括与响应暴露于对电子束或离子束而 从所述标签发出的光量成比例的信息。

3.根据权利要求2所述的方法,其中所述发光的标签是无机纳米 颗粒,所述纳米颗粒包括掺杂有发光活化剂离子的主晶格,其起到了 所述纳米颗粒发光中心的作用,并且其中获得一种图像,其包括检测 由所述活化剂离子发出的光。

4.根据权利要求2所述的方法,其中所述发光的标签是无机量子 点纳米颗粒。

5.根据权利要求2所述的方法,其中所述发光的标签是有机标 签。

6.根据权利要求1所述的方法,其中所述标签包括高Z材料。

7.根据权利要求6所述的方法,其中所述高Z材料包括金纳米颗 粒。

8.根据权利要求7所述的方法,其中用银或金增强所述的金纳米 颗粒。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的方法,其中获得图像包括 处理由颗粒探测器探测到的信号。

10.根据权利要求6-8中任一项所述的方法,其中获得图像包括 处理由X射线探测器探测到的信号。

11.根据权利要求1所述的方法,其中采用电子束或离子束除去一 个或多个表面层。

12.根据权利要求11所述的方法,其中所述电子束或离子束是精 细聚焦的束。

13.根据权利要求1所述的方法,其中利用电磁辐射束除去一个或 多个表面层。

14.根据权利要求1所述的方法,其中通过升华作用除去一个或多 个表面层。

15.根据权利要求1所述的方法,其中所述除去一个或多个表面层 是在颗粒光学仪器中原位进行的。

16.根据权利要求1所述的方法,其中标签的上边界是基于在一个 图像中不存在标签并且在接下来的图像中存在标签而确定的,以及标 签的下边界是基于一个图像中存在标签并且在接下来的图像中不存在 标签而确定的。

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