[发明专利]用于沉积有机薄膜的坩埚组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于沉积有机薄膜的坩埚组件，更具体地，涉及一种用于防止气相有机材料在喷嘴端冷凝并且在基材上沉积冷凝的有机材料的改进坩埚组件。

背景技术

图1示出了常规的坩埚组件。包含有机材料颗粒的该坩埚组件被设置在真空室(未示出)中，并且将基材(S)放置在该坩埚组件的上方。当通过加热器(未示出)加热该坩埚组件时，有机材料融化和汽化，该气相有机材料通过喷嘴散射并沉积在基材上，从而形成有机薄膜。

有机材料蒸汽的散射角度与喷嘴的直径(d)和长度(1)相关，所述直径和长度是根据基材(S)的面积和真空室的尺寸来调整的。常规地，喷嘴5在本体4向上突出，并且喷嘴5远离用于加热本体4的加热器。因而，在本体4和喷嘴5的温度之间必然存在差别。由于该温度差，有机材料的蒸汽冷凝在喷嘴5的内壁。冷凝的有机材料随着时间的流逝变得越来越多。因此，喷嘴5被冷凝的有机材料堵塞。为了解决该问题，在现有技术中，已提出了与用于加热本体的主加热器一起提供用于加热喷嘴的辅加热器(未示出)，以使得温度差最小化。然而，在辅加热器中遇到的另一问题是坩埚组件结构复杂。

此外，有机材料不总是以气相沉积在基材上。有机材料熔融的部分2喷射并沉积在基材(S)上，这导致在基材上沉积的有机材料薄膜的厚度局部地发生变化。

发明内容

技术问题

因而，做出本发明来解决在现有技术中发生的上述问题，本发明的一个目的是提供一种用于防止气相有机材料在喷嘴端冷凝的用于沉积有机薄膜的改进坩埚组件。

本发明的另一个目的是提供一种用于防止以非气相而是颗粒形式的有机材料沉积在基材上的坩埚组件。

本发明的另一目的是提供一种通过控制散射角度和图案来降低有机材料的消耗的坩埚组件。

本发明的其它优点、目的和特征将部分地在下面的说明书中阐述，有些对于本领域技术普通技术人员在研究下文后将变得明显，或可以通过本发明的实施来了解。

技术方案

为了实现上述目的，提供了一种用于沉积有机薄膜的坩埚组件，包括：本体，用于容纳将被沉积的有机材料；设有喷嘴的盖，用于以气相排放所述有机材料，所述喷嘴从所述盖的顶部向内并向下延伸。

有利地，为所述本体或盖设置折流板，该折流板通过螺纹啮合固定到所述本体或所述盖上。

而且，有利地，所述本体还包括从支撑凸肩的顶部向上延伸的延伸部分以及在所述盖的喷嘴的外侧形成的用于容纳所述延伸部分的凹部。

有利地，所述盖的上表面是凹入的，以在所述喷嘴周围形成凹部。

而且，有利地，在所述喷嘴的内侧还设有屏蔽板(screen)。

附图说明

通过参考附图对本发明的优选实施方案的描述，本发明的上述目的、其它特征和优点将变得更明显，其中：

图1是示出常规坩埚组件的蒸汽沉积的截面图；

图2和3分别示出了根据本发明的坩埚组件的第一实施方案；

图4示出了根据本发明的坩埚组件的第二实施方案；

图5和6分别示出了根据本发明的坩埚组件的第三实施方案；以及

图7至13示出了根据本发明的坩埚组件的第四实施方案以及各种改型。

具体实施方式

参考图2和3，根据本发明的第一实施方案的坩埚组件包括本体110、盖120和折流板30。

本体110具有用于容纳有机材料颗粒的空心空间，在本体的上部形成分别具有不同直径的两个接合部111和112。本体110适于如现有技术一样被加热器(未示出)加热。本体110还具有从其内侧底部向上突出的热传递部分113，以便有效地向在本体空心空间内容纳的有机材料传递热能。

盖120具有喷嘴121，该喷嘴用于散射有机材料蒸汽并且被固定到本体110的接合部111上。该喷嘴向下形成在该盖的内侧顶部。因而，由于当将该盖组装到该本体上时该喷嘴被定位在由该本体和该盖限定的空间中并且不暴露到该盖的外侧，所以不用任何附加的加热装置即可避免喷嘴与该本体或该盖之间的温度差。

在本实施方案中，折流板30具有形成在其壁的内侧上的啮合部分133，以使得它被固定到该本体的螺纹接合部112上。此外，折流板30包括被桥接到该壁的、在开口的顶部的中心的遮蔽部分132。该遮蔽部分132布置在喷嘴121的相同的竖直中心线上，从而防止非气相的所散射的有机材料沉积到基材(S)上。折流板130形成有开口131，使得有机材料蒸汽可以通过。

所有有机材料颗粒都容纳在该本体的空心空间内，折流板130和盖120通过螺纹啮合被依次固定到该本体的接合部上。