[发明专利]用于沉积有机薄膜的坩埚组件

权利要求书

1.一种用于沉积有机薄膜的坩埚组件，包括：

本体，用以容纳用于薄膜的沉积的有机材料；以及

盖，其固定到所述本体的上部并具有用于以气相散射所述有机材料的喷嘴，

所述喷嘴从盖的顶部向下延伸并且被定位在由该本体和该盖限定的空间中。

2.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，在所述本体和所述盖之间还设有折流板。

3.根据权利要求2所述的坩埚组件，其中，所述折流板包括被布置在所述喷嘴的下方的遮蔽部分，并且在所述折流板上形成用于通过有机材料蒸汽的开口。

4.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，还设有折流板，所述折流板通过螺纹啮合固定到所述本体或所述盖上。

5.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，还设有折流板，所述折流板安装在形成于所述本体的内壁的支撑凸肩上。

6.根据权利要求5所述的坩埚组件，其中，所述本体还包括从所述支撑凸肩向上延伸的延伸部分，并且所述盖包括凹槽，该凹槽形成在所述盖的喷嘴的外侧，用于容纳所述延伸部分。

7.根据权利要求6所述的坩埚组件，其中，所述本体和盖通过螺纹啮合固定到所述折流板的上部。

8.根据权利要求7所述的坩埚组件，其中，分别在所述本体的上部的内侧和在所述盖的下部的外侧形成螺纹部分。

9.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，在所述盖的上表面形成围绕喷嘴的凹面。

10.根据权利要求9所述的坩埚组件，其中，所述凹面被成形为圆形的。

11.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，所述本体还包括在本体的上部向内突出的凸肩。

12.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，所述本体还包括从本体的内侧底部向上突出的热传递部分。

13.根据权利要求1所述的坩埚组件，其中，在所述喷嘴的内侧设有屏蔽部。

14.根据权利要求13所述的坩埚组件，其中，所述屏蔽部的下部是锥形的。

15.根据权利要求13所述的坩埚组件，其中，所述屏蔽部的下部是圆形的。