[发明专利]用于将模具与固化压印材料分开的技术

权利要求书

1.一种用于将包括在模板中的模具与设置在衬底上的固化压印材料分开的方 法，所述方法包括：

在靠近所述模具的所述模板中产生变形，从而足以产生一回复力，所述回复力 大于所述固化压印材料和所述模具之间的粘合力。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述模板包括设置成与所述模具 相反的第一侧，从而产生还包括：在所述第一侧和所述模具之间诱导压差。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，产生还包括：在所述模具中形成 足够量值的波状起伏以接触所述衬底。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述模具包括周界，所述方法还 包括将设置成与所述周界同心的所述模具的区域与所述固化压印材料分开。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述模具包括周界，所述方法还 包括将设置成与所述周界同心的所述模具的多个区域依次与所述固化压印材料分 开。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括将围绕通过所述模具中心 的轴线径向对称设置的所述模具的区域与所述固化压印材料分开。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括将围绕通过所述模具中心 的轴线径向对称设置的所述模具的多个区域依次与所述固化压印材料分开。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：通过围绕横向于所述模 具表面的法线延伸的轴线转动所述模具，将所述模具的区域与所述固化压印材料分 开。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，产生还包括：形成所述模板包围 所述模具的表面，以具有恒定的曲率半径。

10.一种用于在衬底和具有模具的模板之间散布可适应材料的方法，所述方法 包括：

将所述模具定位成与所述衬底成叠置关系，以在其间限定一容积；

通过所述可适应材料与所述模具和所述衬底中的一个之间的毛细管作用，使所 述容积的第一子部分装载所述可适应材料；以及

通过在所述模具中产生变形，来充填所述容积的第二子部分。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述模板包括设置成与所述模 具相反的第一侧，从而充填还包括：在所述第一侧和所述模具之间产生压差。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具包括中央部分，充填 还包括：使可适应材料与所述中央部分接触，接着使所述模具的其余部分与所述可 适应材料接触。

13.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具包括中性轴线，装载 还包括：在接触所述可适应材料之前弯曲所述中性轴线。

14.如权利要求10所述的方法，其特征在于，定位还包括：使所述模具相对 于所述衬底居中。

15.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述模具具有与其相关联的区 域，所述区域大于所述衬底的区域。

16.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述模板包括设置成与所述模 具相反的第一侧，装载还包括：改变所述模具和所述衬底之间的距离，同时在所述 第一侧和所述模具上保持基本相等的压力。

17.如权利要求10所述的方法，其特征在于，在充填之前进行装载。

18.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一和第二子部分具有与 其相关联的总容积，所述总容积小于所述容积。