[发明专利]一种用于控制辐射源功率的系统和方法

权利要求书

1.一种辐射源功率控制系统，包括：

-传感器(FS)，其接收由辐射源(LS)生成的辐射束(LBP)的一部分并提供代表辐射源功率的模拟信号(AFS)，

-连接至传感器(FS)的反馈网络(FN)，

-连接至反馈网络(FN)和辐射源(LS)的辐射源功率控制电路(LPCC)，

其中反馈网络(FN)包括扫描宽度补偿模块(RCM)，包括，

-采样模块(SM)，基于代表辐射源功率的模拟信号(AFS)所述采样模块(SM)提供数字信号(DFS)，

-至少一个误差控制信号生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)，其执行振幅补偿并提供至少一个数字误差控制信号(ECS)至辐射源功率控制电路(LPCC)以便控制辐射源(LS)的功率。

2.如权利要求1所述的辐射源功率控制系统，其中，采样模块(SM)包括模拟预处理模块(APRO)和模拟至数字的转换器(FSADC)，采样模块(SM)提供代表辐射源功率的数字信号(DFS)。

3.如权利要求1所述的辐射源功率控制系统，其中，误差控制信号生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)包括：

-积分和除法模块(ID、ID1、ID2)，

-计算模块(RNC、RNC1、RNC2)，

-查找表模块(LKT、LKT1、LKT2)，

-倍增器(MU、MU1、MU2)，

其中：

-积分和除法模块(ID、ID1、ID2)以及计算模块(RNC、RNC1、RNC2)接收代表辐射源功率的数字信号DFS和至少一个计时信号(Tdel、Tthr)，积分和除法模块(ID、ID1、ID2)通过累加代表辐射源功率的数字信号DFS的多个采样确定总和，而计算模块(RNC、RNC1、RNC2)通过在基于至少一个计时信号(Tdel、Tthr)的持续时间期间计算代表辐射源功率的数字信号(DFS)的采样确定扫描宽度，积分和除法模块(ID、ID1、ID2)通过将总和除以扫描宽度来计算多个采样的平均值，

-耦合至计算模块(RNC、RNC1、RNC2)的查找表模块(LKT、LKT1、LKT2)确定基于扫描宽度的比例因数，

-耦合至查找表模块(LKT、LKT1、LKT2)和积分和除法模块(ID、ID1、ID2)的倍增器(MU1、MU2)通过将多个采样的平均值与比例因数相乘为多个采样计算比例值。

4.如权利要求3所述的辐射源功率控制系统，其中，误差控制信号生成器(ECSG、ECSG1、ECSG2)进一步包括至少一个连接至倍增器(MU、MU1、MU2)并提供后处理的数字误差控制信号(DSdel、DSthr)至辐射源功率控制电路(LPCC)的数字后处理模块(PPRO1、PPRO2)。

5.如权利要求3或4所述的辐射源功率控制系统，其中，计时多路复用器(MT)可以被连接在倍增器(MU、MU1、MU2)和至少一个后处理模块(PPRO1、PPRO2)之间，计时多路复用器(MT)接收增量(δ)计时信号(Tdel)和阈值计时信号(Tthr)并提供数字增量(δ)信号(DSdel)或数字的阈值信号(DSthr)至辐射源功率控制电路(LPCC)。

6.如权利要求1所述的辐射源功率控制系统，其中，辐射源(LS)为生成激光束(LB)的激光器二极管，并且传感器(FS)为光学传感器。

7.如权利要求1所述的辐射源功率控制系统，其中，传感器(FS)为前向传感转换器，其提供代表辐射源功率的前向传感模拟信号(AFS)。

8.一种用于控制辐射源功率的方法，包括步骤：

-传感由辐射源(LS)生成的辐射束(LB)的一部分并提供代表辐射源功率的模拟信号(AFS)，

-采样代表辐射源功率的模拟信号(AFS)并提供代表辐射源功率的数字信号(DFS)，

-为代表辐射源功率的数字信号的多个采样执行振幅补偿并提供至少一个数字误差控制信号(ECS、DSdel、DSthr)至辐射源功率控制电路(LPCC)，以便控制辐射源(LS)的功率。