[发明专利]成膜材料供给装置

权利要求书

1.一种真空蒸镀装置的成膜材料供给装置，该真空蒸镀装置使成 膜材料在成膜室内的熔沟上蒸发，并在上方进行移送的基板上形成膜， 所述成膜材料从能承受长期间的连续运转的收容着大量的成膜材料的 成膜材料供给室进行供给，其特征在于，上述熔沟在上述被移送的基 板的宽度方向并列设置三个以上，至少除两端的熔沟以外的中间的熔 沟是通过能够调节上述成膜材料的供给量的、设置各阶梯差而排列的 多台电磁振动供料器进行供给的。

2.如权利要求1所述的成膜材料供给装置，其特征在于，上述电 磁振动供料器是由筒状的槽和驱动该槽的电磁线圈构成的。

3.如权利要求2所述的成膜材料供给装置，其特征在于，在上述 电磁振动供料器上设有分级机构。

4.如权利要求3所述的成膜材料供给装置，其特征在于，在上述 电磁振动供料器的上述槽内铺设有金属丝网。

5.如权利要求2所述的成膜材料供给装置，其特征在于，上述电 磁线圈的线圈主体通过密闭壳体、相对于上述电磁振动供料器的基座 被真空密封并被固定，在上述基座上插通着用于向上述电磁线圈供给 电源的电导线，另外，用于冷却上述电磁线圈主体的冷却线圈的冷却 介质供给管以及排出管被导出到大气侧。

6.如权利要求2所述的成膜材料供给装置，其特征在于，通过改 变在上述电磁线圈主体中流动的电流的大小，调节成膜材料的输送量。