[发明专利]带膜的基体及膜形成用玻璃

说明书

技术领域

本发明涉及主要可用于液晶显示元件和有机EL等的显示器等显示装置的被覆了由软化点低的玻璃形成的膜的基体及用于形成该膜的玻璃。

背景技术

以往，作为液晶显示元件和有机EL等显示器用的基体，以形状可自由变化、可曲面显示、轻量等理由，尝试使用了各种薄膜基体(例如参照非专利文献1或3)。

但是，薄膜与玻璃相比，存在阻气性差的问题。为了用作液晶显示元件和有机EL等显示器用的基体，为防止元件的劣化而需要高阻气性。特别是为了用作有机EL用的基板，被要求其基体的水蒸气透过率在5×10^-5克/m²/天以下，这是严格到远远超过包装材料的性能。以往的透气性测定装置只能进行精确至5×10^-3克/m²/天左右的定量评价。针对这一点，非专利文献4中提出了利用金属Ca的变质的新的透气性测定方法。

作为具有阻气性的基体，揭示有在薄膜上设置了某种特定的树脂的基体(例如参照专利文献1)、在薄膜上设置了由氟化合物构成的树脂层(例如参照专利文献3)。但是，这些基体还不能说具有足够的阻气性。

此外，提出有由无机化合物膜和插入于无机化合物膜间的树脂膜的交替叠层形成的多层阻气膜(例如参照专利文献5)。但是，第1层产生的气孔等缺陷也影响下一层，难以降低对阻气性影响大的缺陷密度。另外，膜的边缘也存在自侧面的阻气性不足的问题。

除此之外，还揭示有在薄膜上设置了由氮氧化硅、氮化硅等无机化合物形成的多层膜的发明(例如参照专利文献6)。但是，由于必须通过多种成膜方法形成数种无机化合物的多层膜，因此成膜速度慢，存在生产性差的问题。

此外，近年来代替阴极射线显像管等以往的显示装置的新的显示装置受到期待。其中，特别是有机EL显示器即使施加电压不足10V也可以实现高亮度的发光，能够以简单的元件结构发光，与液晶显示元件相比，还具有可以实现薄型显示器的优点。因此，被期待用作发光显示特定的图案的广告显示用显示器或低价的简易显示器、全彩色显示器。

有机EL元件由依次层叠阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、阴极的结构形成，一般形成于透明基板上。该有机EL元件由于有机发光层、阴极等的材料因大气中的水分和氧等而劣化，因此被指出存在发生亮度劣化、暗斑等缺陷的问题。因此，为了防止元件的劣化，需要具有高阻气性的密封。特别是为了用作有机EL显示器用的密封基体，向该密封基体内部的水蒸气透过率被要求在5×10^-5克/m²/天以下，这是严格到远远超过包装材料的性能。

对于在透明基板侧存在光取出面的底部发射型的有机EL显示器，作为抑制水分或氧引起的性能劣化的方法，揭示有通过由金属或玻璃形成的密封盖将干燥剂封入装置内部的方法(例如参照专利文献7)。此外，揭示有该干燥剂较好是在氟化烃油中含有合成沸石等脱水剂而得的惰性液体的内容(例如参照专利文献8)。但是，这些方法都密封工序烦杂，生产性差。此外，存在因密封基体厚而显示器的厚度增大的问题。因此，为了克服这些课题，除了吸收进入到元件中的水分的方法以外，期待可防止水分的浸入的密封。

作为上述密封的发明，揭示有在透明基板上设置了某种特定的树脂的基体(例如参照专利文献1)、在透明基板上设置了由氟化合物构成的树脂层(例如参照专利文献3)。但是，这些密封还不能说具有足够的阻气性。

此外，作为其它发明，提出有在基板上形成了特定的无机化合物膜的发明，具体为形成了由氧化铝或氮化硅形成的膜的发明。但是，这些膜一般膜厚小至数十纳米，且不易形成致密的膜，因此存在单层时难以抑制气孔的生成的问题。

为了弥补该缺点，也提出有由在无机化合物膜和无机化合物膜间插入树脂膜而使这些膜交替层叠而得的多层膜形成的膜(例如参照专利文献5)。但是，无机化合物膜容易产生气孔等缺陷，这些气孔等缺陷也影响下一层，对阻气性产生较大影响，因此存在难以降低缺陷密度的问题。此外，还存在生产性差的问题。