[发明专利]带膜的基体及膜形成用玻璃

权利要求书

1.带膜的基体，其特征在于，在基体的至少一面具有软化温度为100～800℃的无机非晶质膜。

2.带膜的基体，其特征在于，在基体的至少一面具有玻璃化温度为50～500℃的无机非晶质膜。

3.如权利要求1或2所述的带膜的基体，其特征在于，前述无机非晶质膜经由气相形成。

4.如权利要求3所述的带膜的基体，其特征在于，构成前述无机非晶质膜的所有成分的1600℃时的蒸气压在1×10^-7atm、即1×10^-2Pa以上。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，400～700nm的波长区域中的最低透射率在65％以上。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述无机非晶质膜的膜厚为0.1～5μm。

7.如权利要求1～6中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述无机非晶质膜的材料为包含选自S、Se和Te的1种以上的元素的硫属元素化物类组合物。

8.如权利要求7所述的带膜的基体，其特征在于，前述硫属元素化物类组合物为GeS类组合物，GeS类组合物膜中的Ge含量为5～40摩尔％，S含量为60～95摩尔％。

9.如权利要求1～6中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述无机非晶质膜的材料为含P₂O₅的磷酸盐玻璃。

10.如权利要求9所述的带膜的基体，其特征在于，前述P₂O₅的含量在无机非晶质膜中为5～39摩尔％。

11.如权利要求9或10所述的带膜的基体，其特征在于，前述磷酸盐玻璃还含氟化物。

12.如权利要求10或11所述的带膜的基体，其特征在于，前述氟化物的含量在无机非晶质膜中为1～70摩尔％。

13.如权利要求11或12所述的带膜的基体，其特征在于，前述氟化物为SnF₂。

14.如权利要求9～13中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述磷酸盐玻璃还含SnO。

15.如权利要求14所述的带膜的基体，其特征在于，前述SnO的含量在无机非晶质膜中为1～80摩尔％。

16.如权利要求1～15中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述无机非晶质膜具有阻气性。

17.如权利要求1～16中的任一项所述的带膜的基体，其特征在于，前述带膜的基体为密封基体。

18.膜形成用玻璃，其特征在于，由含B₂O₃作为主要成分的硼酸盐玻璃、含P2O5的磷酸盐玻璃、含TeO₂作为主要成分的亚碲酸盐类组合物、含Bi₂O₃作为主要成分的氧化铋类组合物或者含选自S、Se和Te的1种以上的元素的硫属元素化物类组合物形成。

19.如权利要求18所述的膜形成用玻璃，其特征在于，前述磷酸盐玻璃还含氟化物。

20.如权利要求18或19所述的膜形成用玻璃，其特征在于，前述磷酸盐玻璃还含SnO。

21.如权利要求19或20的膜形成用玻璃，其特征在于，前述氟化物为SnF₂。