[发明专利]获取器件的测试数据

说明书

交叉引用

本专利申请要求在2005年8月4日提交的美国临时申请No. 60/705,639的优先权，该临时申请通过引用被包括在本申请中，如同 在这里阐明一样。

技术领域

本专利申请通常涉及获取器件的测试数据，而且更具体地涉及采 用渐进和自适应采样来获取该测试数据。

背景技术

半导体器件的性能可能随许多不同操作参数的变化而变化。为了 提高新器件的生产率和利润，希望首先检验用于生产该器件并且可靠 地生产在期望的操作条件范围内稳定的器件的制造工艺。以下也是有 用的：在生产期间进行质量控制，以对一小部分器件进行采样，从而 确保制造过程连续生产在期望的操作条件范围内稳定的器件。可以检 验器件在某个条件范围内的稳定性的测试技术通常称为“shmoo”或者 “shmoo图”。

shmoo图可以是一维、二维、三维甚或N维的。shmoo图的每维 表示一个或者多个可变的器件参数。这些器件参数可以包括：器件电 源电压(V_dd)、器件时钟频率/周期以及数字输入或者输出电压。然而， 可以利用任意器件参数来检验该器件的操作或者识别关于该器件的问 题。

通过自动测试设备(ATE)可以获得诸如用于产生shmoo图的测 试数据的测试数据。ATE通常是计算机驱动的用于测试诸如半导体、 电子电路以及印刷电路板组件的自动系统。由ATE测试的器件被称为 被测器件(DUT)。

发明内容

本专利申请描述了用于利用渐进和自适应采样获取测试数据的方 法以及包括计算机程序产品的设备。

通常，根据一个方面，本发明的目的是获取被测器件的测试数据， 获取被测器件的测试数据包括：通过利用渐进采样在参数范围内的第 一点处测试该器件，获取该测试数据的第一部分；以及通过利用自适 应采样在该参数范围内的第二点处测试该器件，获取该测试数据的第 二部分。本发明的该方面还可以包括下面描述的一个或者多个特征。

获取该测试数据的第一部分包括：确定该组中的第一点的数量是 否超过阈值。如果该组中第一点的数量没有超过所述阈值，则该方面 可以包括重复执行渐进采样、测试以及进行内插。如果该第一点的数 量超过该阈值，则可以获取该测试数据的第二部分。获取该测试数据 的第二部分包括：在该测试数据上进行自适应采样，以识别一组第二 点；在该组第二点处测试该器件以产生第二测试结果；以及利用第二 测试结果进行内插以产生该测试数据的一部分。获取该测试数据的第 二部分还可以包括：设置与自适应采样相关的量度；确定在测试数据 上是否存在满足该量度的附加点；在该测试数据上进行自适应采样以 从这些附加点中识别另一组第二点；在另一组第二点处测试该器件以 产生附加第二测试结果；以及利用该附加第二测试结果进行内插以产 生该测试数据的一部分。

上述方面还可以包括：指定定义测试数据的参数，其中该测试数 据可以包括多个点，该多个点包括第一点的组和第二点的组；确定是 否已经测试了超过预定数量的多个点。如果还没有测试超过预定数量 的多个点，则该方面还可以包括通过在利用渐进采样识别的该测试数 据的第三点处测试该器件来获取该测试数据的第三部分。可以利用该 测试数据的第一部分和第二部分进行内插以获取该测试数据的缺失部 分，而且可以利用该第一部分和第二部分以及该缺失部分来显示该测 试数据。

渐进采样可以包括以基本上均匀的分布采样该测试数据以获取第 一点。自适应采样可以包括根据先前采样的测试数据的点来采样该测 试数据以获取第二点。该测试数据可以包括具有第一维和第二维的栅 格，其中第一维对应于与该器件相关的第一参数，而第二维对应于与 该器件相关的第二参数。测试可以包括在给定该第二参数的情况下获 取该第一参数，或者在给定该第一参数的情况下获取该第二参数。该 器件可以包括半导体器件，而且该测试数据可以被表示为shmoo图。

附图和下面的描述详细说明了一个或者多个例子。根据该描述和 附图以及权利要求书，本发明的其他特征、方面以及优点显而易见。

附图说明

图1至3示出shmoo图的例子。

图4是用于测试器件的ATE的方框图。

图5是用于ATE中的测试器的方框图。

图6a至6e示出利用像素复制内插进行渐进采样的阶段。