[发明专利]获取器件的测试数据

权利要求书

1.一种用于获取被测器件的测试数据的方法，包括：

通过利用渐进采样在参数范围内的第一点处测试所述器件，获取 所述测试数据的第一部分；以及

其中，获取所述数据的所述第一部分包括：

在所述测试数据上进行渐进采样，以识别一组第一点；

在所述第一点的组处测试所述器件，以产生第一测试结果； 以及

利用所述第一测试结果进行内插以内插数据点；

基于所述内插数据点识别在所述参数范围内的第二点，所述 第二点选自评估度量超过预定阈值的内插数据点；以及

通过利用自适应采样在所述第二点处测试所述器件，获取所述测 试数据的第二部分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，获取所述第一部分进一步 包括：

确定所述第一点的组中的第一点的数量是否超过阈值；以及

如果所述组中第一点的数量没有超过所述阈值，则重复执行渐进 采样、测试以及进行内插。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，如果所述组中第一点的数 量超过所述阈值，则获取所述第二部分，其中，获取所述第二部分包 括：

进行所述自适应采样，以识别一组第二点；

在所述组的第二点处测试所述器件，以产生第二测试结果；以及

利用所述第二测试结果进行内插以产生所述测试数据的所述第二 部分。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，获取所述第二部分进一步 包括：

设置与自适应采样相关的量度；

确定在所述测试数据上是否有满足所述量度的附加点；

进行自适应采样，以从所述附加点中识别另一组第二点；

在所述另一组第二点处测试所述器件以产生附加第二测试结果； 以及

利用所述附加第二测试结果进行内插，以产生所述测试数据的部 分。

5.根据权利要求3所述的方法，进一步包括：

指定定义所述测试数据的参数，所述参数定义多个点，所述多个 点包括所述第一点的组和所述第二点的组；

确定是否已经测试了超过预定数量的多个点；以及

如果还没有测试超过预定数量的多个点，则通过在利用渐进采样 识别的第三点处测试所述器件来获取所述测试数据的第三部分。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

利用所述测试数据的所述第一部分和第二部分进行内插，以获取 所述测试数据的缺失部分；以及

利用所述第一部分和第二部分以及所述缺失部分，显示所述测试 数据。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述测试数据包括具有第 一维和第二维的栅格，所述第一维对应于与所述器件相关的第一参数， 而所述第二维对应于与所述器件相关的第二参数；以及

其中，测试包括：在给定所述第二参数的情况下获取所述第一参 数，或者在给定所述第一参数的情况下获取所述第二参数。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述器件包括半导体器件， 而且所述测试数据被表示为shmoo图。