[发明专利]质量分析装置及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种质量分析装置及其使用方法。

本申请基于2005年5月23日申请的日本专利申请第2005-149626号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

半导体装置和平面显示器的制造工序中使用各种真空装置。为了进行该真空装置的过程管理，使用四极型的质量分析装置(例如参照专利文献1)。质量分析装置是对分析对象气体所包含的各种物质测定每一质荷比(质量数/电荷数)的分压的装置。

图3为现有技术的质量分析装置的概要构成图。质量分析装置101包括：导入分析对象气体测定并测定每一质荷比的分压的测定部112；和电气控制该测定部的电气系统部114，在真空装置的腔室的内部配置测定部112、在真空装置的腔室的外部配置电气系统114部而使用。另外，质量分析装置101与真空装置的控制用PC162连接。

使用该质量分析装置进行真空装置的过程管理时，由真空装置的控制用PC162驱动质量分析装置101，导入运转中的真空装置的内部气体并测定每一质荷比的分压，将该测定结果输出并显示在控制用PC162上。然后，根据显示的测定结果来确认内部气体中所包含物质的种类和量，判断在真空装置中是否已实施规定过程。

专利文献1：日本特开平7-307301号公报

上述的质量分析装置也被用于真空装置的针孔检查。作为真空装置的针孔检查依次进行检测有无针孔的空气泄漏检查和检测针孔位置的He泄漏检查。

进行真空装置的空气泄漏检查时，首先对真空装置的内部抽真空。然后由真空装置的控制用PC162驱动质量分析装置101，测定真空装置的内部气体，并将测定结果显示在控制用PC162上。该控制用PC162上显示以质荷比为横轴以分压为纵轴的图。根据该图，操作者手算质荷比为28的氮气的分压与质荷比为32的氧气的分压的比率。于是，在该分压比约为4∶1时，判断为有通过针孔的空气泄漏。

上述的空气泄漏检查判断为有针孔时，为检测出针孔的位置进行He泄漏检查。在进行He泄漏检查时，首先向真空装置外表面的特定位置吹出He气。然后由真空装置的控制用PC162驱动质量分析装置101，测定真空装置的内部气体，并将测定结果显示在控制用PC162上。根据该显示的测定结果，确认内部气体中所包含的He气的分压，判断有无通过针孔的He气泄漏。然后，向真空装置外面的各位置吹出He气，每次重复上述操作，从而检测出针孔的位置。

然而，在空气泄漏检查中分压比的计算烦杂，有发生计算错误的可能性。另外在He泄漏检查中，吹出He气的真空装置的腔室与进行质量分析装置操作及测定结果显示的真空装置的控制用PC162分离配置。因此，需要在真空装置腔室和控制用PC162之间多次往返，结果He泄漏检查需要较长的时间。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的是提供一种能够有效地进行各种检查的质量分析装置及其使用方法。

为了达成上述目的，本发明的质量分析装置安装在腔室的壁部，对在该腔室内存在的分析对象气体进行分析，其特征在于，该装置包括：测定部，在向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定分析对象气体中的气体成分的每一质荷比的分压；操作部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，对所述测定部进行操作；以及显示部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。

根据该构成，因为能够在分析对象气体的存在位置附近进行质量分析装置的操作以及测定结果的确认，所以可以有效地进行各种检查。尤其是可以有效地进行维护后的真空装置的泄漏检查。

另外，所述操作部和所述显示部最好配设在与所述测定部连接成一体并控制所述测定部的电气系统部上。

根据该结构，能够以低成本将操作部和显示部靠近测定部地进行配设。

另外，所述电气系统部最好使多种的每一质荷比的分压切换显示在所述显示部上。

根据该结构，能够简单地只确认必要的测定结果，从而可以有效地进行各种检查。

另外，所述电气系统部最好使质荷比为28的氮气的分压和质荷比为32的氧气的分压的比率显示在所述显示部上。

进而，最好在所述电气系统部上设置有将质荷比为28的氮气的分压和质荷比为32的氧气的分压的比率输出到外部设备的输出单元。

根据这些构成，因不用手算就可以确认氮气和氧气的分压比，所以可以有效地进行空气泄漏检查。