[发明专利]质量分析装置及其使用方法

权利要求书

1.一种质量分析装置，安装在腔室的壁部，分析该腔室内存在的分析对象气体，其特征在于，包括：

测定部，在向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定所述分析对象气体中的气体成分的每一质荷比的分压；

操作部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，操作所述测定部；以及

显示部，在向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，

所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。

2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，

所述操作部及所述显示部配设在与所述测定部连接成一体并控制所述测定部的电气系统部上。

3.根据权利要求2所述的质量分析装置，其特征在于，

所述电气系统部使多种的每一质荷比的分压切换显示在所述显示部上。

4.根据权利要求3所述的质量分析装置，其特征在于，

所述电气系统部使质荷比为28的氮气的分压与质荷比为32的氧气的分压的比率显示在所述显示部上。

5.根据权利要求4所述的质量分析装置，其特征在于，

所述电气系统部设置有将质荷比为28的氮气的分压与质荷比为32的氧气的分压的比率输出到外部设备上的输出单元。

6.一种质量分析装置的使用方法，使用权利要求3所述的质量分析装置进行所述腔室的泄漏检查，其特征在于，包括以下步骤：

在所述腔室上安装所述质量分析装置的步骤；

将所述腔室内抽真空的步骤；

驱动所述质量分析装置，分别计测所述分析对象气体中的多种气体成分的分压，使这些分压之间的比率显示在所述显示部上的步骤；以及

根据该比率的大小判断所述腔室有无泄漏的步骤。

7.一种质量分析装置的使用方法，在通过权利要求6所述的质量分析装置的使用方法判断为所述腔室内有泄漏时，检测在所述腔室上产生的针孔的位置，其特征在于，包括以下步骤：

将所述腔室内抽真空的步骤；

向所述腔室的外壁的特定部分吹出检查用气体的步骤；

驱动所述质量分析装置，计测所述检查用气体的分压，使该分压显示在所述显示部上的步骤；以及

根据该分压的大小判断在所述外壁的特定部分是否产生所述针孔的步骤。