[发明专利]使用包含离子成分的涂料图形化的方法有效
申请号: | 200680007130.1 | 申请日: | 2006-08-17 |
公开(公告)号: | CN101133477A | 公开(公告)日: | 2008-02-27 |
发明(设计)人: | 金大铉;金志洙;申东明;崔东昌;崔庚铢;池昊灿;车权英;金星炫 | 申请(专利权)人: | LG化学株式会社 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱梅;徐志明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 包含 离子 成分 涂料 图形 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种使用包含离子成分的涂料溶液通过简单的工艺并以低成本来形成图形的方法,从而提高图形的精度和图形的转印效率。
本申请要求于2005年8月17日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请号10-2005-0075193的优先权,其全部公开在此引入作为参考。
背景技术
通常,已频繁使用光致抗蚀剂来完成光刻法,以形成如半导体电路器件和LCD的显示器件中所使用的微图形。光刻法包括涂布、曝光、显影、洗涤和固化步骤。虽然光刻法具有可以精确形成所需图形的优点,但是其缺点在于:进行多个步骤,使用多种类型的材料以使光致抗蚀剂的效果最大化,且在如涂布的步骤中使用较大量的光致抗蚀剂。
近来,已进行使用辊筒印刷法(roll printing method)来开发图形转印和图形形成的研究,从而避免光刻法的上述缺点。然而,目前的辊筒印刷法的缺点在于,图形的精度和图形的转印效率受到构成辊筒印刷设备的橡胶布和铅板、涂料溶液的性质以及辊筒印刷的工艺条件的显著影响,其缺点还在于转印后保留不需要的大的图像。因此,需要开发形成图形的方法,从而避免上述问题。
发明内容
技术问题
如上所述,已知技术的问题在于,可加工性、成本、涂布均匀性以及将如电子材料的材料微图形化所需的精度是不合要求的。
因此,本发明的目的是提供一种形成图形的方法,该方法的优点在于,工艺简单,成本低,且提高涂布均匀性、精度和转印效率。
技术方案
本发明提供一种形成图形的方法。该方法包括:a)将包含具有正电荷或负电荷的离子成分的涂料涂布到第一基板的第一侧面上;b)使第一基板的第一侧面与第二基板的第一侧面的不平滑部分接触,以将对应于第二基板的突起的涂料部分从第一基板转印到第二基板上;以及c)使第一基板的第一侧面或第二基板的第一侧面与印刷物体接触,以将涂料转印到印刷物体上,其中,在第一基板和第二基板中至少一个基板的第二侧面上安装电极,其与基板的第一侧面相对,将第一基板上的电极通电以使其具有与步骤(b)和/或步骤(c)中的涂料的离子成分相同的电荷,且将第二基板上的电极通电,以使其具有与步骤(b)中的涂料的离子成分的电荷相反的电荷和/或使其具有与步骤(c)中的涂料的离子成分相同的电荷。
本发明提供一种使涂料形成图形的方法。该方法包括a)将包含具有正电荷或负电荷的离子成分的涂料填充到第一基板的第一侧面的凹槽中;b)使第二基板的第一侧面与第一基板的第一侧面接触,以将填充于第一基板的凹槽中的涂料转印到第二基板上;以及c)使第二基板的第一侧面与印刷物体接触,以将涂料从第二基板转印到印刷物体上,其中,在第一基板和第二基板中至少一个基板的第二侧面上安装电极,其与基板的第一侧面相对,将第一基板上的电极通电以使其具有与步骤(b)中的涂料的离子成分相同的电荷,且将第二基板上的电极通电,以使其具有与步骤(b)中的涂料的离子成分的电荷相反的电荷和/或使其具有与步骤(c)中的涂料的离子成分相同的电荷。
本发明提供一种使用上述形成图形的方法来制造电子器件的方法。所述制造电子器件的方法包括将电子材料微图形化。
与此相关,所述电子器件为电磁记录、成像或电路装置的一种部件。
本发明提供一种用于形成图形的涂料组合物。该涂料组合物包含基于组合物总重的50~95wt%的电子材料和基于组合物总重的5~50wt%的阳离子或阴离子成分。
所述电子材料可以选自包括光学油墨、用于导线的金属溶液、导电胶、抗蚀剂、粘合剂和胶水的组。
所述阳离子成分或阴离子成分可以是选自包括使用一价或二价阳离子或阴离子单体聚合的聚合物;选自包括使用非离子单体和一价或二价阴离子或阳离子单体聚合的共聚物及其衍生物的组的粘合剂聚合物;包含一价或二价阳离子或阴离子成分的有机或无机表面活性剂;以及一价或二价阳离子或阴离子染料、一价或二价阳离子或阴离子颜料及其络合物的组的一种或多种。
本发明提供一种用以形成图形的阳离子或阴离子的糊状涂料组合物,其通过将选自导电性有机或无机材料、碱金属氧化物或导电金属粉末中的一种或多种分散于溶剂中而制备。
如上所述,用于形成图形的涂料组合物可以是包含电子材料和阳离子或阴离子成分的涂料组合物或糊状离子型涂料组合物。
同时,本发明提供具有使用所述用于形成图形的涂料组合物而形成的图形的电子器件。
另外,本发明提供包括所述电子器件的电子装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造