[发明专利]晶片移动控制宏指令

权利要求书

1.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：

接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置；

接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述目的晶片保持位置；

确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据；

使用与第一晶片保持位置相关的传感器以将所述第一晶片保持位置报告为不适于接受晶片的晶片保持位置；

将至少所述等离子粒团工具的所述第一晶片保持位置标记为可排除的；

从用于形成所述路径的节点列表中排除所述第一晶片保持位置；以及

响应于与所述路径相关的数据形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过用户在所述等离子粒团工具的所述图形表示上使用拖放操作来指示所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述确定与所述路径相关的所述数据采用“宽度-第一”遍历算法。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。

5.根据权利要求1所述的方法，进一步包含：

确定所述第一晶片保持位置是否能够接受所述晶片；以及

根据所述确定执行所述标记。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等离子粒团工具中的给定模块的给定节点。

7.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，被配置为在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：

接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置；

接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上确定所述目的晶片保持位置；

确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据，所述路径横穿除了所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之外的至少一个其它晶片保持位置，所述路径包括所述起始晶片保持位置和所述目的晶片保持位置之间的晶片保持位置本身；

使用与第一晶片保持位置相关的传感器以将所述第一晶片保持位置报告为不适于接受晶片的晶片保持位置；

将至少所述等离子粒团工具的所述第一晶片保持位置标记为可排除的；

从用于形成所述路径的节点列表中排除所述第一晶片保持位置；以及

响应于与所述路径相关的所述数据形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为用于沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，通过用户在所述等离子粒团工具的所述图形表示上使用拖放操作来表示所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述确定与所述路径相关的所述数据采用“宽度-第一”遍历算法。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，该组晶片转移指令代表一组宏指令。

11.根据权利要求7所述的方法，进一步包含：

确定所述第一晶片保持位置是否能够接受所述晶片；以及

根据所述确定执行所述标记。

12.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一晶片保持位置代表所述等离子粒团工具中的给定模组的给定节点。