[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，利用施加了超声波振动的处理液处理基板，其特征在于，具备：

振荡体，是直方体状并具有上述处理液的供给通路，该供给通路在该振荡体的长度方向的一端部的底面开口、且朝向该振荡体的长度方向的另一端部倾斜形成；

振子，设置在该振荡体的上表面，使振荡体进行超声波振动；及

第1冷却机构，冷却供给上述供给通路的处理液。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，在上述振荡体上设有用于冷却该振荡体的第2冷却机构。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，供给上述供给通路的处理液不被加速而被供给上述基板。

4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，上述第1冷却机构将上述处理液的温度冷却到10～18℃。

5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，在上述处理液的供给通路，设有在该处理液中溶解气体的气体溶解机构。

6.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，具有：

转台，用于保持并旋转驱动上述基板；和

臂体，在该转台的上表面，沿着上述基板的直径方向被摇动驱动，

在上述臂体的前端部，上述振荡体设置成底面与上述基板对置。