[发明专利]基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质

说明书

技术领域

本发明涉及基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质，特别是涉及根据基于软件控制对基板进行处理的基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质。

背景技术

通常软件的用户有服从该许可协议的义务。许可协议的规定中有各种条款，在达成协议的用户数、计算机的台数、或在使用期间等范围内允许使用软件。

有时针对在半导体制造装置等基板处理装置上工作的软件，在基板处理装置的制造商和基板处理装置的用户之间签订许可协议。在这种情况下，基板处理装置的制造商向用户要求软件的许可费，在缴纳该许可费后，才允许使用该软件。具体而言，与一般的软件相同，基板处理装置的制造商通知用户许可密钥(licence key)等，输入该许可密钥等，此后可以使用该软件。

然而，在该许可协议仅在制造商与该用户之间有效的情况下，当该用户转卖基板处理装置时，制造商可以向转卖对方的用户重新要求许可费。

专利文献1：日本特开2005-84889号公报

但是，一直以来只要没有来自用户的报告，制造商很难察觉基板处理装置的转卖。作为实际问题，根据制造商所派遣的保养作业员的报告，也许能够察觉基板处理装置被转移到了某处。但是，可以想象如果转卖对方的用户不合作，很难正确地把握转卖的目的地。

于是，存在不得不眼睁睁地看着该软件被不正当地使用，制造商无法要求软件的许可费，导致利益蒙受侵害的问题。

而且，在专利文献1所记载的技术中，即使能够对每个作为许可对象的机器进行许可管理，也很难在该机器被转卖时妥当地防止该机器所用的软件的使用。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用的基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质。

因此，为了解决上述课题，本发明提供了一种根据基于软件控制对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于，包括：许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收上述软件的许可信息；许可信息解析单元，从上述许可信息取出上述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从上述许可信息取出的上述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的上述许可信息提供装置的上述地址信息进行比较。并且，在两个上述地址信息的值不一致的情况下，限制上述软件的至少一部分功能的执行。

并且，为了解决上述课题，本发明提供了一种通过网络与上述基板处理装置连接的许可信息提供装置，其特征在于，包括：许可信息生成单元，根据该许可信息提供装置的上述地址信息，生成上述许可信息；和许可信息发送单元，向上述基板处理装置发送上述许可信息。

根据上述基板处理装置和上述许可信息提供装置，能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用。

发明效果

根据本发明，提供一种能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用的基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质。

附图说明

图1是表示本发明实施方式中的基板处理装置构成例示意图。

图2是表示第一实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。

图3是表示本发明实施方式中的许可密钥服务器的硬件构成例的图。

图4是表示第一实施方式中的用于实现许可管理系统的许可密钥服务器和基板处理装置的功能构成例的图。

图5是用于说明输入初始密钥时许可密钥服务器中的初始设定处理的处理顺序的流程图。

图6是用于说明接收初始密钥时基板处理装置中的处理顺序的流程图。

图7是用于说明基板处理装置中许可的更新处理的处理顺序的流程图。

图8是用于说明许可密钥服务器中的许可密钥的更新处理的流程图。

图9是表示第二实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。

图10是表示第三实施方式中的网络构成例和系统控制器构成例的图。

图11是表示本发明实施方式中的第二基板处理装置的构成例的示意图。

图12是表示本发明实施方式中的第三基板处理装置的构成例的示意图。

图13是第二处理单元的截面图。

图14是表示第二处理舟构成的立体示意图。