[发明专利]基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质

权利要求书

1.一种基板处理装置，根据基于软件的控制对基板进行处理，其特征在于：

包括：许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；

许可信息解析单元，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和

许可判定单元，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行比较，

在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

所述许可信息解析单元从所述许可信息取出装置固有信息，所述装置固有信息为每个所述基板处理装置所具有的固有值，

所述许可判定单元将从所述许可信息取出的所述装置固有信息与该基板处理装置的所述装置固有信息进行比较，

在两个所述装置固有信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

所述许可信息解析单元从所述许可信息取出允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述地址信息，

所述许可判定单元将从所述许可信息取出的所述基板处理装置的所述地址信息与设定在该基板处理装置中的所述地址信息进行比较，

在两个所述地址信息不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

4.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

预先保存在所述基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息，包含在最初从所述许可信息提供装置接收的所述许可信息之中。

5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，包括：

期限管理单元，管理从接收到所述许可信息时开始经过的相对时间；和

许可信息请求单元，在所述经过的相对时间达到所述许可信息的有效期限的规定期间内时，向所述许可信息提供装置发送所述许可信息的更新请求。

6.如权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于：

在发送所述许可信息的更新请求后，在规定期间内没有收到所述许可信息时，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

7.一种许可管理程序，其特征在于：

在根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置中，执行下述步骤：

许可信息接收步骤，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；

许可信息解析步骤，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和

许可判定步骤，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行比较，

在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

8.如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于：

所述许可信息解析步骤从所述许可信息取出装置固有信息，该装置固有信息为每个所述基板处理装置所具有的固有值，

所述许可判定步骤将从所述许可信息取出的所述装置固有信息与该基板处理装置的所述装置固有信息进行比较，

在两个所述装置固有信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

9.如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于：

所述许可信息解析步骤从所述许可信息取出允许使用所述软件的所述基板处理装置的所述地址信息，

所述许可判定步骤将从所述许可信息取出的所述基板处理装置的所述地址信息与设定在该基板处理装置中的所述地址信息进行比较，

在两个所述地址信息不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。

10.如权利要求7所述的许可管理程序，其特征在于：

预先保存在所述基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息，包含在最初从所述许可信息提供装置接收的所述许可信息之中。