[发明专利]检查装置和检查方法及检查装置用传感器有效

专利信息
申请号: 200680002741.7 申请日: 2006-01-19
公开(公告)号: CN101107537A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: 羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟 申请(专利权)人: OHT株式会社
主分类号: G01R31/02 分类号: G01R31/02
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 检查 装置 方法 传感器
【权利要求书】:

1.一种检查装置用传感器,是使用在能以非接触检查被施加交流检查信号的检查对象导电体状态的检查装置,其特征在于具备有:

第一传感器板组,包含有:供电传感器板,可以定位在接近检查对象导体的信号提供部位,用来对上述检查对象导体提供交流检查信号;检测传感器板,可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检查信号的上述检查对象导体的检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体的检查信号;

第二传感器板组,可以配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定位位置,定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时,配合上述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置,定位和配置第二传感器板组的供电传感器板;

使上述第一或第二传感器板组的上述供电传感器板和上述检测传感器板的任一方,成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较长的传感器板的同时,使另外一方成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较短的传感器板。

2.根据权利要求1所述的检查装置用传感器,其中,使上述供电传感器板成为纵向较长的棒状传感器板的同时,使上述检测传感器板成为纵向较短的棒状传感器板。

3.一种检查装置,可以以非接触检查被施加交流检查信号的检查对象导电体的状态,其特征在于具备有:

第一传感器板组,其构成包含有:供电传感器板,可以定位在接近检查对象导体的信号提供部位,用来对上述检查对象导体提供交流检查信号;检测传感器板,可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检查信号的上述检查对象导体的检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体的检查信号;

第二传感器板组,可以配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定位位置,定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时,配合上述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置,可定位和配置第二传感器板组的供电传感器板;

检查信号提供装置,可以对上述第一和第二传感器板组的供电传感器板提供检查信号;

检测装置,接受来自上述第一或第二传感器板组的检测传感器板的检查信号,可以用来检查上述检查对象导体的状态;

使上述第一或第二传感器板组的上述供电传感器板和上述检测传感器板的任一方,成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较长的传感器板的同时,使另外一方成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较短的传感器板。

4.根据权利要求3所述的检查装置,其中,使上述供电传感器板成为纵向较长的棒状传感器板的同时,使上述检测传感器板成为纵向较短的棒状传感器板。

5.根据权利要求3或4所述的检查装置,其中,先利用上述第一传感器板组和上述第二传感器板组的一方的传感器板组进行检查,然后利用另外一方的传感器板组进行检查。

6.根据权利要求3或4所述的检查装置,其中,利用上述第一传感器板组和上述第二传感器板组的一方的传感器板组进行检查,同时利用另外一方的传感器板组进行检查。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的检查装置,其中,具备有:

提供装置,用来对每一个传感器板组提供不同频率的交流检查信号;

检查信号检测装置,只检测对各个传感器板组供电的检查信号;

识别装置,根据上述检查信号检测装置的检测结果是否与正常时的检测结果不同,可以判别检查对象是否良好。

8.一种检查装置,可以以非接触检查被施加有交流检查信号的检查对象导电体的状态,其特征在于具备有:

多组传感器板组,包含有:供电传感器板,可以定位在接近检查对象导体的信号提供部位,用来对上述检查对象导体提供交流检查信号;检测传感器板,可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检查信号的上述检查对象导体的检查信号检测部位,用来检测上述检查对象导体的检查信号;

提供装置,用来对每一传感器板组提供不同频率的交流检查信号;

检查信号检测装置,只检测对每一传感器板组供电的检查信号;

识别装置,根据上述检查信号检测装置的检测结果是否与正常时的检测结果不同,可以用来判定检查对象是否良好。

9.根据权利要求7或8所述的检查装置,其中,交流检查信号在0.5MHz至1.2MHz的范围内,使用至少相差0.1MHz以上的频率的检查信号。

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