[发明专利]用于测量正在移动的玻璃基板的厚度的在线厚度规及其方法

说明书

有关申请的交叉参照

本申请要求2005年1月11日提交的题为“On-Line Thickness Gauge and Method for Measuring the Thickness of a Moving Glass Substrate”的美国申请 11/034,172的优先权，该申请全文引用在此作为参考。

技术领域

本发明涉及能够测量正在移动的玻璃基板(玻璃板)的厚度的在线厚度规 (OLTG)和方法。

背景技术

可用在像平板显示器这类设备中的玻璃基板(例如，LCD玻璃基板)的制 造商不断地试图改善他们的玻璃制造工艺/系统，使得他们能够制造出厚度更均 匀的玻璃基板。为了制造厚度更均匀的玻璃基板，若制造商能在制造玻璃基板 的同时精确地确定玻璃基板的厚度，则将非常有益。如果这可以实现，则制造 商能够使用该厚度信息实时地调节并更好地控制玻璃制造工艺/系统，使得他们 可以制造出厚度更均匀的玻璃基板。本发明的主题是在制造玻璃基板的同时能 够测量玻璃基板厚度的在线厚度规(OLTG)和方法。

发明内容

本发明包括能够测量正在移动的玻璃基板的厚度的OLTG和方法。在较佳 的实施方式中，该OLTG包括Y-导向装置和稳定单元，它们分别用于抓住正在 移动的玻璃基板并使之稳定。该OLTG还包括含激光光源和检测器的激光仪器。 该激光光源朝正在移动的玻璃基板的前表面发射光束。该检测器接收两束光， 其一是由正在移动的玻璃基板的前表面反射的，另一束是由正在移动的玻璃基 板的后表面反射的。该OLTG还包括处理器，该处理器分析由该检测器接收到 的两束光以确定这两束光之间的距离，然后利用该距离确定正在移动的玻璃基 板的厚度。

附图说明

结合附图参照下面的详细描述，可以对本发明作更完整的理解：

图1是示出了可以包括本发明的OLTG的典型玻璃制造系统的方框图；

图2A-2C分别示出了本发明的OLTG的前视图、左视图和顶视图；

图3示出了本发明的OLTG所获得的厚度数据以及传统离线厚度测量规所 获得的厚度数据；

图4-11更详细地示出了本发明的OLTG的不同组件；以及

图12是示出了根据本发明测量正在移动的玻璃基板的厚度的较佳方法的 基本步骤的流程图。

具体实施方式

参照图1-12，揭示了根据本发明的OLTG 102和方法1200，该OLTG和该 方法能够测量正在移动的玻璃基板155(玻璃板155)的厚度。在描述OLTG 102 和方法1200之前，先对典型的玻璃制造系统100进行简短的讨论，该系统使 用熔融工艺制造玻璃基板155并且还可以包括并使用OLTG 102和方法1200， 再描述OLTG 102和方法1200。尽管本文所描述的玻璃制造系统100使用熔融 工艺制造玻璃基板155，但是应该理解任何类型的玻璃制造系统都可以包括并 使用OLTG 102和方法1200。因此，不应该以限制方式来解释本发明的OLTG 102和方法1200。

参照图1，示出了使用熔融工艺制造玻璃基板155的典型玻璃制造系统100 的示意图。玻璃制造系统100包括熔融容器110、精练容器115、混合容器120 (例如，搅拌腔120)、输送容器125(例如，辊筒(bowl)125)、形成容器 135(例如，隔离管(isopipe)135)、拉辊组件140、划线装置150、输送机系 统152和OLTG 102。