[发明专利]用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜及精密微细空间的形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于形成精密微细空间特别是形成于电子部件如喷墨头中的各种精密微小空间的顶板部的感光性层合膜，还涉及精密微细空间的形成方法。 

背景技术

近来，在工业领域中，通过在各种产品中形成精密微小空间获得各种功能的技术已经很引人注意。例如，已经开发了在半导体器件中构成精密和微小空间以及将存在于该空间中的空气层作为电介质层的技术，以及使一种液体喷射装置电地或热地产生压力的技术，在该装置中形成有许多精密微小空间以及填充在该精密微小空间中的液体如墨由在该装置中的压紧元件定量地和连续地喷射。上述液体喷射装置的典型例子是喷墨头。另外，已经提供一种将光刻胶溶液喷射为液滴的光刻胶液滴喷射头以及一种将DNA样品喷射为液滴的DNA液滴喷射头。 

通常，提供了如下方法作为精密微小空间，如上述的喷墨头的喷嘴空间和向喷嘴供墨的墨室的形成方法。 

例如，在专利文献1中公开了形成喷嘴的连续的精密微小空间、挤出墨到该喷嘴的墨压力室、以及供墨到墨压力室的墨池的方法，该方法通过层压多个具有大小孔的板状部以及用粘接剂一体化来形成上述的一系列精密微小空间，这些孔形成每个空间的侧壁。 

在专利文献2中公开了通过在树脂膜上形成金属层形成墨压力室，通过喷砂和蚀刻间歇地移除该金属层，以及粘接板状部以围绕所得到的凹部的方法。 

另外，在专利文献3中公开了通过形成具有凹部的喷墨头基台形成喷嘴空间，以及随后粘接板状部以围绕喷墨头基台的凹部的方法，凹部通过 在具有凹凸部的原版的凹凸表面上涂布和层压树脂组合物以及固化该组合物并从上述原版上剥离来形成喷嘴空间。 

以这种方式，精密微小空间，如传统喷墨头中的喷嘴空间已经通过在板状部中形成穿透孔，或通过蚀刻金属层或树脂层形成凹部来形成微小空间形成用凹部以及粘接顶板部以覆盖该凹部来形成。当向上述顶板部提供开口如喷嘴孔和连通通道如墨流通道时，该顶板部已经通过蚀刻等进行了预先穿孔。 

专利文献1：日本专利申请公开2001-63052A 

专利文献2：日本专利申请公开特开平11-342607A 

专利文献3：日本专利申请公开特开平10-286955A 

发明内容

本发明要解决的技术问题是：由上述喷墨头中的喷嘴和墨压力室代表的精密微小空间已经通过粘接板状部如顶板部形成，以覆盖利用传统成型方法如蚀刻或模制形成的凹部。因此，当在顶板部中形成穿透孔或开口时，有必要预先进行穿孔处理。因此，有必要严格控制穿孔的位置的精确性，而且要求粘接的位置的严格精确性。另外，必须选择和使用不改变构成凹部和构成顶板部的材料的粘接剂，而且在高温粘接这两种材料。 

为此，在现有技术的形成精密微小空间的方法中，使用许多部件而且生产精确性严格，因此，生产步骤增加，所用材料的选择性窄，因此难以使生产有效以及难以降低生产成本。 

根据上述现有技术的问题已经提出了本发明，本发明的一个目的是提供一种用于形成顶板部的感光性层合膜，该层合膜适合用于有效地廉价地形成各种精密微细空间，特别是形成于电子部件如喷墨头中的精密微细空间，本发明还提供一种利用该感光性层合膜形成精密微细空间的方法。 

为了解决上述问题进行深入研究的结果，本发明者已经发现现有技术的问题通过应用干膜可以避免，该干膜由感光性组合物构成，该感光性组合物替代在传统的精密微小空间形成中用于顶板部的板状部。 

即，如果具有高分辨率，或者在加热固化过程中具有低的体积收缩率的干膜能够形成具有高的高宽比轮廓的图案，以及使用具有高感光性的感 光性树脂组合物的干膜作为形成顶板部的材料，那就可以克服上述现有技术的问题。通过应用上述干膜，可以形成具有尺寸精确性高的顶板部，当需要在顶板部形成开口或穿透孔时，成型的图案化可以和形成顶板部同时进行，因此可以容易保持高度尺寸精确性。 

在寻找适合用于这类干膜的树脂组合物后，本发明者已经发现通过组合多功能环氧树脂和特定的酸发生剂得到的感光性树脂组合物适合用于这类干膜。已经发现如果通过使用由这类感光性树脂组合物得到的干膜形成树脂图案，则可以形成具有高感光性，在加热固化过程中低体积收缩率和具有高的高宽比轮廓的树脂图案。