[发明专利]用于形成精密微细空间的顶板部的感光性层合膜及精密微细空间的形成方法

权利要求书

1.一种用于形成精密微细空间的精密微细空间形成方法，该精密微细空间由通过固化树脂组合物层形成的顶板部和由顶板部覆盖的精密微小凹部构成，所述方法包括如下步骤：

在透明支持膜上层压至少一层感光性组合物层以形成感光性层合膜；

设置感光性层合膜的所述感光性组合物层以覆盖所述精密微小凹部；

在不剥离支撑该感光性组合物层的支持膜的条件下通过该支持膜对该感光性组合物层进行曝光；

用热处理使曝光的树脂感光性组合物层固化；

从该树脂组合物层剥离该支持膜后用另外的热处理对固化的树脂组合物层进行主固化。

2.根据权利要求1所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述支持膜采用在100℃加热30分钟时具有1％以下的垂直收缩率的膜。

3.根据权利要求1所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，构成所述感光性组合物层的所述感光性组合物采用化学放大负型感光性树脂组合物。

4.根据权利要求3所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述的化学放大负型感光性树脂组合物采用包含至少一种多功能环氧树脂和阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物。

5.根据权利要求4所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述的阳离子聚合引发剂采用选自芳香族重氮鎓盐、芳香族锍盐、芳香族碘鎓盐、金属茂基化合物、芳香族磷鎓盐和硅烷醇铝络合物的至少一种。

6.根据权利要求4所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述的阳离子聚合物引发剂采用分别由通式(1)和(2)表示的两种芳香族锍盐中的至少一种，

式中，R₁、R₂、R₄、R₅、R₆和R₇代表可以含氢、氧或卤素原子的烃基，或可以结合取代基的烷氧基，相互可以相同或不同；R₃代表可以含氢、氧或卤素原子的烃基。

7.根据权利要求4所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述的阳离子聚合引发剂采用分别由通式(3)和(4)表示的两种芳香族碘鎓盐中的至少一种，

8.根据权利要求1所述的精密微细空间形成方法，其特征在于，所述精密微细空间是一种喷墨记录头的喷墨喷嘴空间。