[实用新型]光罩放置装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光罩放置装置，特别是涉及一种在一盒体内设置数个弹性定位单元，并经由该弹性定位单元将一光罩定位于该盒体内的光罩放置装置。

背景技术

现有的光罩放置装置，如中国台湾公告第I246106号「一种光罩盒的增益结构改良」新型专利，其包含一光罩盒10及数个呈S形的顶固体30，该顶固体30设置于该光罩盒10的上盖体及下盖体的各角落，且为上下反向设置。该光罩盒10于该顶固体30设置位置的下方设有一顶柱40，经由该顶柱40顶抵该顶固体30，以防止因用力不当造成一光罩片1000的脱落，该光罩盒10于该顶固体设置位置的两侧另设有二限位片，以限制该光罩片1000的移动。该顶固体30以一座体30a延伸一S形弹性体，该S形弹性体的末端设一顶面30b与一扣压面30c。

当使用该现有光罩放置装置时，将该光罩片1000置放于该下盖体中，且该光罩片1000的周缘对应该顶固体30的扣压面30c，经由该顶面30b施加给该光罩片1000一弹性偏压，以限制该光罩片1000的水平位移。再将该上盖体盖合，其中，经由上下相对的顶固体30末端的顶面30b施加给该光罩片1000一纵向的弹性偏压，以限制该光罩片1000的纵向位移。采用上述结构，可利用该顶固体30末端的顶面30b及扣压面30c将该光罩片1000定位固定于该光罩盒10内。

一般来讲，上述现有光罩放置装置具有下列缺点，例如：该光罩盒10通常由一塑料材料所制成，造成该光罩片1000可能与该光罩盒10产生静电，进而影响该光罩片1000的性质。另外，该光罩盒10需设置该限位片限制该光罩片1000的移动及该顶柱40顶撑该顶固体30，导致现有光罩放置装置的构造过于复杂。再进一步，该扣压面30c的宽度较小，尺寸较小的光罩片1000无法与各该扣压面30c相抵接，因此适合使用的光罩片大小有限，导致该习用光罩放置装置的使用范围较小。该顶固体30的弹性空间仅介于该顶固体30与该顶柱40之间，如果该顶固体30顶抵至该顶柱40后，该顶固体30便无法再行压缩，导致该现有光罩放置装置的弹性变形范围不足。基于上述原因，有必要进一步改进上述现有光罩放置装置。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种光罩放置装置，其利用于一盒体的各角落设置一弹性定位单元，经由该弹性定位单元的弹性体、顶抵部及侧抵部，以将一光罩定位于该盒体内，使得本发明具有简化构件、增进使用及弹性变形的范围的效果。

本发明的次要目的是提供一种光罩放置装置，其利用一金属材料制作该盒体，以避免该盒体与该光罩间产生一静电，使得本发明可以避免产生静电。

本发明公开的光罩放置装置，其包含一盒体及数个弹性定位单元，该数个弹性定位单元对应设置于该盒体内的各角落，该弹性定位单元包含一底座、一支撑面、一抵接面、一顶抵部及一侧抵部，该底座与该盒体连结，并延伸形成该支撑面，该抵接面的两端形成一第一连接部及一第二连接部，该支撑面的一端连接该第一连接部，该支撑面与该抵接面之间保持一距离，该第二连接部向上延伸形成该顶抵部，且该抵接面的侧缘向上延伸形成该侧抵部。以经由该支撑面、抵接面、顶抵部及侧抵部将一光罩定位于该盒体内。

本发明改进了现有技术中存在缺点，其利用于一盒体内的各角落设置一弹性定位单元，该盒体由金属材料制成，可以避免产生静电。另外，经由该弹性定位单元的支撑面、抵接面、顶抵部及侧抵部，将该光罩定位于该盒体内。因此，本发明可有效避免静电产生、简化结构件、增进使用及弹性变形的范围。

附图说明

图1：本发明优选实施例的光罩放置装置的立体图。

图2：本发明优选实施例的光罩放置装置弹性定位单元的立体图。

图3：本发明优选实施例的光罩放置装置弹性定位单元的侧视图。

图4：本发明优选实施例的光罩放置装置弹性定位单元的使用状态示意图。

图5：本发明优选实施例的光罩放置装置弹性定位单元1最大负荷状态示意图。

图6：本发明优选实施例的光罩放置装置弹性定位单元的使用状态剖面图。

【主要组件符号说明】

1   盒体          11 上盖部      12  下盖部

2   弹性定位单元  21 底座        22  支撑面

23  抵接面        231第一连接部  232 第二连接部

24  顶撑部        25 顶抵部      26  侧抵部

27  顶块          3  光罩