[实用新型]光罩放置装置

权利要求书

1、一种光罩放置装置，其特征在于，其包含：

一个盒体，其包含一个上盖部及一个下盖部，该上盖部及下盖部之间形成一个空间；及

数个弹性定位单元，其设置于该上盖部及下盖部的各角落，该弹性定位单元包含一个底座、一个支撑面、一个抵接面、一个顶抵部及一个侧抵部，该底座与该盒体连结，该底座的一侧延伸形成该支撑面，该抵接面的两端形成一个第一连接部及一个第二连接部，该支撑面的一端连接该第一连接部，该支撑面与该抵接面之间保持一个距离，该第二连接部向上延伸形成该顶抵部，且该抵接面的侧缘向上延伸形成该侧抵部。

2、根据权利要求1所述的光罩放置装置，其特征在于，该盒体为一个金属盒体。

3、根据权利要求1所述的光罩放置装置，其特征在于，该底座的上方设有一个顶块，以供抵撑该抵接面的第二连接部。

4、根据权利要求3所述的光罩放置装置，其特征在于，该第二连接部与该顶块之间具有一个弹性变形空间。

5、根据权利要求1所述的光罩放置装置，其特征在于，该第一连接部向下延伸形成一顶撑部，且该顶撑部的底端与该盒体的上盖部或下盖部保有一个预定间距。

6、根据权利要求1所述的光罩放置装置，其特征在于，各该支撑面及各该抵接面选自一个弧形面，以共同构成一个略呈V形的弹性定位单元。

7、根据权利要求1所述的光罩放置装置，其特征在于，该侧抵部与该顶抵部之间形成一个预定夹角。