[实用新型]一种直写制备聚合物光波导的装置

说明书

技术领域

本实用新型属于光电子器件的制造领域，具体涉及一种直写制备聚合物光波导的装置。

背景技术

平板与条形光波导是光学系统小型化、集成化需求下的产物。每年都有大量有关波导材料、器件原理与结构设计、工艺方法与测试技术以及系统应用等方面的新成果研究报道，寻求低损耗以及用于单片集成的波导材料和相应的制造工艺一直为人们所关心。

传统的SiO₂平面波导制备技术具有损耗低、稳定性好的优点，一直作为制备光波导的主流材料之一。但是，由于制备过程中高温工艺引起的材料双折射，使得SiO₂基器件通常具有大的偏振依赖性。同时，SiO₂的热光系数较小，无法制作数字热光开关，更不能制作电光调制器件等。新型聚合物材料是目前平面波导技术研究和发展的一个方向。与SiO₂相比，聚合物材料通常具有较大的热光系数和电光系数，可以制作低串扰、低偏振依赖性、带宽大的数字光开关等。

与传统的无机光波导材料相比，有机聚合物光波导材料具有较高的电光耦合系数、较低的介电常数、较短的响应时间和较小的热损耗等特点。而且，用聚合物材料来制作光波导，加工工艺简单，无须高温加热处理，只要通过匀胶、光刻等工艺即可制得复杂结构的光电集成器件，且所制备的器件轻巧、机械性能好，适用于制作大型光学器件和挠性器件。聚酰亚胺(PI)是目前电子材料中最有发展前途的有机高分子材料之一(见“含氟聚酰亚胺高分子光波导工艺的研究”，梁东波，陈抱雪，袁一方上海理工大学学报Vol25 No3 2003)，其优异的综合性能可满足微电子工业对材料的苛刻要求，因此受到工业界与科技界的广泛重视。

在聚合物光波导的制作工艺方面，传统的聚合物光波导制备工艺是先在干净的硅片上旋涂一层聚合物薄膜，高温处理使薄膜固化，然后采用磁控溅射技术在制备好的聚合物薄膜上沉积一层金属膜。所需的微图形通过传统的光刻技术转移到金属膜上，具体的光刻工艺包括前处理、匀胶、前烘、对准、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等众多步骤。光刻完毕后就进行ICP(感应耦合等离子体)刻蚀。在ICP刻蚀中受光刻胶保护留下的金属微图形膜被用作掩膜层，保护其下的聚合物层免受等离子体的轰击。未被保护的聚合物在等离子体的轰击下去掉，形成所需要的聚合物微结构层(同时注意控制ICP刻蚀时间，以免等离子体轰击破坏下包层)，再采用腐蚀剂将金属微图形膜腐蚀掉，剩下的具有微图形结构的聚合物层即成为波导材料的芯层。最后在制作好的波导芯层上旋涂聚合物上包层，加热处理使上包层固化，就形成了光波导层。

上述传统的光波导制备技术工艺稳定，所制备的光波导层质量高，在大规模生产中具有较大的优势。  不足之处在于：所需要的装备昂贵、制造工序多、贵重材料浪费多、环境污染大、柔性化程度低、制作周期长和成本高等。特别是对于小批量生产而言，上述过程显然导致制造成本的大幅度上升。

为了弥补现有传统光波导制造技术的不足，1990年以来，人们开发了各种直写技术(Direct Writing)，如微细笔直写、金刚石刀具直写、激光直写、激光微细熔覆直写等。由于直写技术一般具有CAD/CAM功能，无需掩膜就可实现柔性化制造，且加工精度高，速度快，无污染，成本低。并且，直写技术能够使得设计人员足不出户就可以在数小时内将软件设计图形加工成实际的产品，满足小批量、多品种的电子产品制造要求，因此在微机械、微器件与生物芯片的制造、材料原位合成等领域逐渐实现了工业化应用。

在上述直写技术中，具有代表性的技术是微细笔直写电子元器件技术。它主要是采用特殊设计的微细笔，利用工作台的CAD/CAM功能，直接将电子浆料置放于基板表面的指定位置，形成线路板或者功能元器件的过程。关于Micropen(微细笔)直写布线的具体设计方法详见美国专利：“Carl E，Drumheller.Inking System for Producing Circuit Patterns.US Patent4485387，1984.”(申请人：Carl E，Drumheller.一种制造线路图形的喷墨系统，美国专利号：US Patent4485387)

发明内容

本实用新型的目的是提供一种直写制备聚合物光波导的装置，该装置具有简化工艺、缩短制作周期和降低制造成本的特点。