[实用新型]一种直写制备聚合物光波导的装置无效
| 申请号： | 200620163352.X | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN201017057Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 曾晓雁;王泽敏;李祥友;李金洪;董林红;朱大庆 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/13 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 聚合物 波导 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种直写制备聚合物光波导的装置，其特征在于：气源(5)通过气管(6)与压力控制装置(7)相连，压力控制装置(7)通过施压气管(8)与微细笔(9)相连，用于控制施压气管(8)中气流的通断和调节气压大小，并向微细笔(9)的储料腔中的浆料提供所需的压力。
2.根据权利要求1所述的直写制备聚合物光波导的装置，其特征在于：压力控制装置(7)由调压阀、压力表和电磁阀串联构成。
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