[实用新型]霍尔型离子源无效
| 申请号： | 200620137860.0 | 申请日： | 2006-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201160064Y | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 杨东升;王琼先;叶军;何欣 | 申请（专利权）人： | 北京镨玛时代科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102206北京市大兴区工业*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种霍尔型离子源，其特征在于，包括阳极，通过固定栓悬浮布置在阳极上方的阴极，以及用于将电、气、冷却介质引入到阳极和阴极中的电、气、冷却介质引入组件，其中由高导热材料制成的所述阳极与所述电、气冷却介质引入组件直接相连，且所述阳极表面已采用导电薄膜进行改性。
2.根据权利要求1所述的霍尔型离子源，其特征在于，还包括罩住所述阳极的屏蔽外壳，所述屏蔽外壳的屏蔽间隙小于暗区距离。
3.根据权利要求1或2所述的霍尔型离子源，其特征在于，所述电、气、冷却介质引入组件采用密封结构引入真空室，所述密封结构通向大气，从而使阳极底部处于大气状态，防止异常放电。
4.根据权利要求3所述的霍尔型离子源，其特征在于，所述密封结构为金属玻纹管。
5.根据权利要求2所述的霍尔型离子源，其特征在于，所述屏蔽外壳与所述固定栓电绝缘地相连，并相对于所述阴极和所述阳极悬浮地设置。
6.根据权利要求4所述的霍尔型离子源，其特征在于，在金属玻纹管连接处采用角度调整螺栓来调整方向。
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